我國(guó)從20世紀(jì)60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標(biāo)分述如下：5.ZhP-4A型超高靈敏度質(zhì)譜探漏儀。
ZhP-4A型超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)是采用了兩級(jí)串聯(lián)的磁場(chǎng)強(qiáng)度相同的90。扇形磁場(chǎng)分析器和兩個(gè)串聯(lián)的水冷擴(kuò)散泵，并且應(yīng)用了差級(jí)抽氣，因此，離子源處的抽速穩(wěn)定，儀器靈敏度可達(dá)6.7×10^-1lPa. L/s
(1)性能指標(biāo)
靈敏度： 6.7×10^-lIPa. L/s
反應(yīng)時(shí)間： 3s
靈敏度穩(wěn)定性： 不低于6.7×10^-11Pa. L/s
極限壓力： 1×10^-4Pa
啟動(dòng)時(shí)間： 1.5h
(2)主要組成(圖13-38)
分析器：分析器是兩級(jí)900扇形成C形串聯(lián)的磁偏轉(zhuǎn)型分析器(用永久磁鐵)，兩級(jí)之間沒有第二次加速，電磁參數(shù)也相同，氦離子軌跡半徑均為60mm.離子源：離子源是用磁場(chǎng)準(zhǔn)直的尼爾型源，它由加速透鏡、聚焦電極、電離室和兩個(gè)陰極組成。
接收放大器：包括接收縫組和靜電計(jì)級(jí)。
真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)由機(jī)械系、兩個(gè)水冷油擴(kuò)散泵、節(jié)流閥、冷阱、組合閥、貯氣瓶、三個(gè)低真空閥、兩個(gè)熱偶規(guī)管、冷規(guī)等組成。真空系統(tǒng)是串聯(lián)差動(dòng)抽氣系統(tǒng)，抽速高度穩(wěn)定。不停擴(kuò)散泵可以換陰極。工作時(shí)允許短時(shí)間停機(jī)械泵。儀器在啟動(dòng)時(shí)可用大抽速，工作時(shí)用小抽速。
電氣部分：它包括離子源供電線路、放大器電源、真空測(cè)量線路、加速電壓源與直流放大器、高壓電源、鐵磁諧振穩(wěn)壓器I和Ⅱ、輸出儀表、靜電計(jì)以及操縱面板等。儀器裝有真空聯(lián)鎖及停水警報(bào)器。
