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我國(guó)從20世紀(jì)60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標(biāo)分述如下：4.ZLS-23型氮質(zhì)譜襝漏儀 此儀器是一種單級(jí)1806磁偏轉(zhuǎn)型儀器。結(jié)構(gòu)小巧，便于移動(dòng)，對(duì)機(jī)械