我國(guó)從20世紀(jì)60年代初期開(kāi)始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標(biāo)分述如下：3.ZLS-21型和ZLS-22型高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀
這兩種儀器都是離子軌道半徑為40mm的單級(jí)904扇形磁偏轉(zhuǎn)型儀器。其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)小巧，對(duì)機(jī)械
