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我國從20世紀(jì)60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將6104型氦質(zhì)譜檢漏儀性能、指標(biāo)分述如下：它是一種1800單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器，是在HZJ-1型這類儀器的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成的。特點是：被檢件、節(jié)流閥、質(zhì)譜室與