在選擇與使用氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，要注意工作真空Pp。極限真空pL及節(jié)流閥的抽速Sj。這些都是儀器的重要參數(shù)。
檢漏時(shí)，被檢件除了可能有漏氣外，不可避免地還會(huì)有出氣，如果不加輔助真空系統(tǒng)的話，被檢件的漏氣與虛漏的總氣流量Qo+y-QiE參考式(13-1》就要全部通過(guò)檢漏儀系統(tǒng)。為了保證儀器能正常工作，應(yīng)滿足這樣的條件，即：
由此可見(jiàn)，工作壓力pp越高，節(jié)流閥處抽速Sj越大，檢漏儀就越能適應(yīng)在惡劣條件下進(jìn)行檢漏，對(duì)于大容器檢漏此問(wèn)題尤為重要。
SjPp比較小的儀器，只適用于小型的、去氣較好的器件的檢漏。儀器的pp不應(yīng)設(shè)計(jì)得太低，因?yàn)閮x器運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，要達(dá)到較低的pp是費(fèi)時(shí)間的。一般pp選擇在10^-2Pa～l0^-3Pa范圍。
檢漏時(shí)如果質(zhì)譜室中的壓力太低，需要通過(guò)針閥放入氣量QT使質(zhì)譜室的壓力達(dá)到Pp值。如果節(jié)流閥的抽速為Sj，即QT=SjPp。由式(13-46)可知，對(duì)于某一給定儀器來(lái)說(shuō)，qmin是一走值，因此，Sjpp越大，即QT越大，Ymin就越小，也就是儀器的濃度、靈敏度就越高，對(duì)檢漏越有利。對(duì)漏氣和出氣都很大的被檢件進(jìn)行檢漏時(shí)，Sjpp也是越大越好。因?yàn)榇藭r(shí)必須加輔助真空系統(tǒng)來(lái)幫助儀器抽氣，輔助系統(tǒng)起分流作用，會(huì)降低檢漏靈敏度。但Sjpp越大，輔助系統(tǒng)的分流作用就會(huì)越小，檢漏靈敏度也就降低得少一些。
