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擴(kuò)散泵每級噴口的壓力比(即壓縮比)可以表示為:
由上式可以看出,氣體質(zhì)量越小,壓力比也越小。多級擴(kuò)散泵的壓力比可達(dá)到:對氦為102,對空氣中的其它氣體成分為10^4~10^6。當(dāng)質(zhì)譜計管接在泵的人口處,被檢件接在泵的前級管道時,氦氣通過漏孔進(jìn)入前級管道后,仍有部分氦氣返流到質(zhì)譜計管中去,并給出漏氣信號。此種檢漏儀的靈敏度估計可達(dá)到10^-5 Pa.L/s~10^-8Pa·L/s。
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