反應(yīng)時(shí)間與清除時(shí)間表明了檢漏儀的動(dòng)態(tài)特性。一般規(guī)定氦質(zhì)譜檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間與清除時(shí)間不得大于3s。
定義：若儀器本底輸出指示為零(或補(bǔ)償?shù)搅?，質(zhì)譜儀節(jié)流閥完全開啟，由節(jié)流閥處送入一個(gè)恒定的氦流量，輸出儀表指示上升到z*大值的(1-已一1)倍處，即63.2%處所需的時(shí)間定義為反應(yīng)時(shí)間rR o達(dá)到穩(wěn)定的z*大指示值后，停止送氦，輸出指示下降到z*大值的e 1倍處，即36.8%處所需時(shí)間定義為清除時(shí)間rc。通常TR=tc=r。
反應(yīng)時(shí)間rR與清除時(shí)間rc是由儀器抽氣系統(tǒng)的抽速、流導(dǎo)、體積等真空系統(tǒng)的參數(shù)所決定的，也與離子流放大器等電子學(xué)線路的時(shí)間常數(shù)有關(guān)。如檢漏儀內(nèi)含有能吸收或放出氦氣的材料和零件，也會(huì)影響TR和rc的測(cè)定。當(dāng)輸出指示與漏率的關(guān)系為非線性時(shí)，會(huì)對(duì)TR和億的測(cè)定帶來較大的誤差。
因此，測(cè)TR相記時(shí)，送進(jìn)的氦流量不宜與gmin值差得太多。
測(cè)試方法：測(cè)試裝置如圖13-30所示。S1和S2.為兩個(gè)快動(dòng)閥門。閥門S1以及和它相連的管道的流導(dǎo)應(yīng)大于節(jié)流閥的抽速。送氦前將
漏孔進(jìn)氣端抽成真空，關(guān)閥S2，打開閥S1，測(cè)出儀器本底輸出讀數(shù)Il。配好氦氣后，打開S2，使氦氣進(jìn)入漏孔進(jìn)氣端，當(dāng)輸出儀表指示穩(wěn)定后讀出指示值I2。關(guān)閥S2，打開閥S3把漏孔進(jìn)氣端重新抽空待輸出指示恢復(fù)到I1后，關(guān)閥S3，打開閥S2，記下從打開閥S2到輸出儀表指示值為I1+(I2 - 11)×63%時(shí)所需的時(shí)間，即得到rR。待升到I2后，關(guān)閥門S1，記下從關(guān)閥S1到輸出儀表指示值為Jl十(I2 - 11)×37%時(shí)所需的時(shí)間即為rc。
這里假定L、S2、S3之間的體積很小，操作中對(duì)氦壓力的影響也很小。
應(yīng)該注意的是，此處所測(cè)得的rR已包括漏孔L的時(shí)間常數(shù)在內(nèi)。對(duì)于玻璃白金絲型漏孔，因漏孔的時(shí)間常數(shù)很小，對(duì)TR沒有太大影響。但是，有些漏孑L的時(shí)間常數(shù)很大，在測(cè)定rR時(shí)不宜采用這樣的漏孔。
