在使用中，若鹵素檢漏儀的敏感元件長時間處于濃度較高的鹵素氣體氣氛中，會產(chǎn)生中毒效應(yīng)使靈敏度下降。當儀器短時間中毒時，在清潔的不含鹵素的空氣中工作一段時間還可以恢復。但長時間中毒時，恢復的可能性較小，在使用中要特別注意。這就要求在儀器附近不得傾倒含有鹵素化合物的污物，檢漏場地要有良好的通風設(shè)施。有人指出，敏感元件不宜用酒精或其它碳氫化合物來洗滌，因為這些物質(zhì)會使敏感元件性能變壞。
鹵索氣體比空氣重，進行檢漏時，必須先從被檢件的下部開始。檢出的漏孔要及時做臨時性的堵塞或永久性的修補，因為在大漏孔修補前要想檢出小漏孔是比較困難的。在用攜帶式鹵素檢漏儀進行檢漏時，通過大漏孔漏出的較多的鹵素氣體將逸散到所有角落和裂縫附近，由于停留時間較長，也可能被探頭探及，給出不應(yīng)有的干擾信號。當然這種情況與滯留空間的幾何形狀及通風情況有關(guān)。所以對于實際檢漏來說良好的通風是非常重要的。
橡皮和塑料易于吸收鹵素氣體，而且還會逐漸放出來，使鹵素檢漏儀出現(xiàn)不穩(wěn)定現(xiàn)象，干擾檢漏工作。因此，檢漏系統(tǒng)中z*好避免使用橡皮和塑料。
鹵素氣體的擴散系數(shù)比較小，在用攜帶式鹵素檢漏儀進行檢漏時，為了使被檢件內(nèi)各處的示漏氣體濃度一致，應(yīng)有較長的等待時間。
當鹵素氣體濃度較高時，鹵素檢漏儀的指示值與濃度的關(guān)系是非線性的。因此在做定量測量時，進入探頭的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬分之一。
固定式鹵素檢漏儀的敏感元件是在真空條件下工作的，適應(yīng)的工作壓力范圍為10^ -lPa—10Pa，壓力太低了靈敏度反而低，所以在作高真空系統(tǒng)檢漏時，探頭應(yīng)裝在擴散泵的前級。
