具有冷吸附阱的真空規(guī)檢漏器
可以應(yīng)用具有吸附阱的單個真空規(guī)管進(jìn)行檢漏。z*早是用液態(tài)空氣冷卻的硅膠阱與冷陰極電離規(guī)配合進(jìn)行的，靈敏度可到l0^-8Pa·L·s—l0^-10Pa·L·s-1。
下面介紹一下此種檢漏儀的工作原理。具體結(jié)構(gòu)如圖13-16所示，吸附阱內(nèi)裝有20crrr3的硅膠顆粒，顆粒的直徑約為1mm～2mm。被檢件接于閥門S1和閥門S2之間。開始時，打開閥門1和閥門2，用真空泵抽被檢件和吸附阱，并將吸附阱加熱至300℃除氣2h—3h后，關(guān)上閥門1。當(dāng)被檢件抽到足夠低的壓力時，關(guān)閥門2，打開閥門l，用液氮冷卻吸附阱，此時，由于低溫條件下的硅膠對空氣有較高的吸附能力，所以通過漏孔進(jìn)來的空氣只有很少一部分通過吸附阱，使真空計讀數(shù)略有上升。當(dāng)用示漏氣體如氫氣、氦氣、氖氣噴吹漏孔時，由于硅膠對其吸附能力比對空氣差(約是對空氣的
)，因此規(guī)管內(nèi)壓力升高，使讀數(shù)有較大變化，從而可以指示出漏孔的存在。
本儀器特點：
①靈敏度比氫鈀法高100倍。當(dāng)容器內(nèi)壓力低于10^- 3Pa時.可檢出10^-7Pa·L/s的漏孔;當(dāng)容器內(nèi)壓力低于10^-5Pa時，可檢出10^-8Pa·L/s的漏孔;經(jīng)過某些改進(jìn)后，甚至可檢出10^ -10Pa·L/s的漏孔。
②結(jié)構(gòu)簡單。
③適用于小型的易于除氣的器件的檢漏。
吸附阱內(nèi)的吸氣材料如果采用分子篩，其效果會更好些。
