真空規(guī)法的檢漏靈敏度
關(guān)于熱傳導(dǎo)真空規(guī)法、電離真空規(guī)法及差動(dòng)真空規(guī)法在前面已分別做了介紹，它們的靈敏度可用共同的表示式來(lái)表示。
設(shè)真空系統(tǒng)上有一個(gè)漏率為q的漏孔，當(dāng)漏孔進(jìn)氣端為一個(gè)大氣壓的空氣時(shí)，真空規(guī)讀數(shù)為N，當(dāng)漏孔進(jìn)氣端進(jìn)入某一示漏物質(zhì)時(shí)，真空規(guī)的讀數(shù)為N2，若q=0時(shí)，真空規(guī)的讀數(shù)為No。引進(jìn)一個(gè)系數(shù)φ，且令
φ稱(chēng)為折合系數(shù)。
若真空系統(tǒng)抽速為S，真空規(guī)z*小可讀出的壓力變化為△pA(對(duì)空氣)，則z*小可檢漏率為：
若工作壓力為pA，且令 的幾種真空規(guī)法的φ與△pA分別列于表13-8和表13.9中，ApA與pA的關(guān)系曲線如圖13 -15所示。
表13—8和表13 -9以及圖13 -15的使用方法舉例說(shuō)明如下：如以氫氣為示漏氣體，用單一電離真空規(guī)檢漏，由表13-9可知垂- - 0.4，若抽速S- 10L/s，pA - 10-4Pa，由圖13 -15的曲線(1)可知ApA=2×10-6Pa，利用式(13 - 37)得出
可見(jiàn)其結(jié)果與由式(13 - 32)計(jì)算的結(jié)果基本上是一致的。
