真空規(guī)檢漏法：差動真空規(guī)法
差動真空規(guī)法也叫橋式真空規(guī)法。其具體檢漏裝置如圖13-14所示。它由兩個真空規(guī)管和一個阻滯示漏氣體通過的阱所組成，兩個規(guī)管的輸出信號以差分形式輸出。
檢漏前，將系統(tǒng)抽成真空，將阱加熱除氣，并將電路調(diào)平衡。檢漏時，當(dāng)示漏物質(zhì)通過漏孔進(jìn)入系統(tǒng)后，可不受限制地進(jìn)入第一個規(guī)管內(nèi)。由于阱的作用，示漏物質(zhì)進(jìn)入第二個規(guī)管的量要受到限制，這樣，兩個規(guī)管的輸出訊號就不一致，給出差分信號，由此便可以指示漏孔存在與否并給出漏孔的大小。
差動真空規(guī)法中，規(guī)管可用熱阻規(guī)、熱偶真空規(guī)、熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。相應(yīng)的阱和示漏氣體有：①氫氧化鈣阱，以二氧化碳為示漏氣體；②活性炭阱，以氫氣或丁烷為示漏氣體。
差動真空規(guī)法的優(yōu)點是：在使用中由于兩個規(guī)管電參數(shù)的不穩(wěn)定，真空系統(tǒng)抽速的不穩(wěn)定等所造成的儀器噪聲得到了補償，所以檢漏靈敏度比單管真空規(guī)法高得多，其數(shù)值見表13-7。
表13-7差動真空規(guī)法的z*小可檢漏率
