熱傳導(dǎo)真空規(guī)(熱阻真空規(guī)和熱偶真空規(guī))是基于低壓力下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的性質(zhì)來測量真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力的。此外,還可以利用熱傳導(dǎo)真空規(guī)的讀數(shù)不僅與壓力有關(guān),而且還與氣體種類有關(guān)的性質(zhì)來進(jìn)行檢漏。當(dāng)示漏氣體通過漏孔進(jìn)入真空系統(tǒng)時,不但改變了系統(tǒng)內(nèi)的壓力,也改變了其中的氣體成分,使熱傳導(dǎo)真空規(guī)讀數(shù)發(fā)生變化,據(jù)此可檢示漏孔的存在。
當(dāng)漏孔處施以100%濃度的示漏氣體時,熱傳導(dǎo)真空規(guī)的讀數(shù)變化為
空氣的差差值較大的物質(zhì)作示漏物質(zhì)可提高檢漏靈敏度。如,選用氫氣要比選用乙醇的檢漏靈敏度為高。此外,還應(yīng)選用易于通過漏孔,系統(tǒng)對其抽速又低的物質(zhì)作示漏物質(zhì)。適當(dāng)提高熱傳導(dǎo)真空規(guī)的加熱電流,可使(T2 - T1)加大,也可提高靈敏度。