真空規(guī)檢漏法：熱傳導(dǎo)真空規(guī)法
熱傳導(dǎo)真空規(guī)(熱阻真空規(guī)和熱偶真空規(guī))是基于低壓力下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的性質(zhì)來測量真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力的。此外，還可以利用熱傳導(dǎo)真空規(guī)的讀數(shù)不僅與壓力有關(guān)，而且還與氣體種類有關(guān)的性質(zhì)來進(jìn)行檢漏。當(dāng)示漏氣體通過漏孔進(jìn)入真空系統(tǒng)時，不但改變了系統(tǒng)內(nèi)的壓力，也改變了其中的氣體成分，使熱傳導(dǎo)真空規(guī)讀數(shù)發(fā)生變化，據(jù)此可檢示漏孔的存在。
當(dāng)漏孔處施以100%濃度的示漏氣體時，熱傳導(dǎo)真空規(guī)的讀數(shù)變化為
空氣的
差差值較大的物質(zhì)作示漏物質(zhì)可提高檢漏靈敏度。如，選用氫氣要比選用乙醇的檢漏靈敏度為高。此外，還應(yīng)選用易于通過漏孔，系統(tǒng)對其抽速又低的物質(zhì)作示漏物質(zhì)。適當(dāng)提高熱傳導(dǎo)真空規(guī)的加熱電流，可使（T2 - T1）加大，也可提高靈敏度。
