薄膜滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔
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2014-11-19 閱讀
z*早使用的薄膜滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是石英薄膜滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔，它是國外用于校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的z*通用的一種標(biāo)準(zhǔn)漏孔。
帶氦室的石英薄膜滲氦漏孔(如圖13-2所示)的漏率一般為10^-2Pa·L/s～l0^-6Pa·L/s(氦室內(nèi)氦氣壓力為100kPa左右)。
國內(nèi)許多單位曾研制過此種漏孔，它對氦氣的漏率可用下式表示
由式(13-9)不難看出，選擇不同的石英薄膜的厚度、面積和充入的氦壓力，就可制成不同漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。
由式(13-9)也可以看出漏率與溫度成指數(shù)關(guān)系。由于溫度對漏率影響很大，使用時(shí)應(yīng)注意修正由溫度變化所帶來的影響。利用漏率與溫度有關(guān)這一性質(zhì)可把石英薄膜滲氦型漏孔做成漏率可調(diào)的漏孔。例如，一支在0℃時(shí)漏率QHe=1.14×10^-5Pa.L/s的石英滲氦漏孔，在200c時(shí)，漏率QHe=6.8×10^-4Pa. L/s，變化近兩個(gè)數(shù)量級，但是，這個(gè)變化過程很慢。
當(dāng)石英薄膜滲氦型漏孔進(jìn)氣端的氦壓力改變時(shí)，要重新建立穩(wěn)定的氦流量需要經(jīng)過比較長的時(shí)間，因此，這種漏孔大都做成帶氦室的。
用硬質(zhì)玻璃薄膜也可制成滲氦漏孔，其漏率為10^-7Pa.L/s～l0^-8Pa.L/s。
