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真空系統(tǒng)中漏氣流量的平衡表示式如下

式中 p-系統(tǒng)達(dá)到的壓力;

Po-真空泵的極限壓力;

S-系統(tǒng)的有效抽速;

Qo-由系統(tǒng)外部流向系統(tǒng)內(nèi)部的總漏率;

EQi——虛漏所形成的總“漏”率。

所謂虛漏，其來源是多方面的，如真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)材料表面的出氣，試驗(yàn)物或工件的出氣，系統(tǒng)內(nèi)各種材料的蒸氣，氣體通過器壁向系統(tǒng)內(nèi)的滲透以及系統(tǒng)的死空間中氣體的流出等。

檢漏中應(yīng)注意區(qū)分Qo與EQi。相對虛漏EQi而言，漏氣Qo也可稱為實(shí)漏。在不特別加以說明時(shí)，所說的漏氣都是指實(shí)漏。

對于與真空泵隔離開的密封容器或器件(如電子管、半導(dǎo)體器件等)來說，S=O，這時(shí)若Po<p，則式(13-1)變成

式中 t-封離后所經(jīng)歷的時(shí)間;

V-密封容器的總體積;

Pt-經(jīng)歷時(shí)間￡后系統(tǒng)(或容器)中的壓力;

p，Qo，Qi與式(13-1)相同。