四極質(zhì)譜計(jì)的工作原理是由Paul等在1953年s*先提出的，而后，在1955年又介紹了按此原理研制的實(shí)際儀器。1960年文獻(xiàn)[289]介紹了一臺(tái)冷陰極的真空分析的四極濾質(zhì)器。幾乎同時(shí)，于1963年我國(guó)研制出用于真空檢漏的四極檢漏儀，于1964年研制出四極濾質(zhì)器。70年代，Holme等于1972年—1974年對(duì)用于高真空或超高真空殘氣分析的小型四極質(zhì)譜計(jì)，作了一系列研究。同時(shí)在四極質(zhì)譜計(jì)理論、結(jié)構(gòu)及加工工藝、性能研究等方面有了很大進(jìn)展，出現(xiàn)一批性能較好的商品儀器。我國(guó)在此期間出現(xiàn)研制四極質(zhì)譜計(jì)的高潮，幾乎同時(shí)，有多家研究所、高等院校和工廠相互合作，研制出性能較高的四極質(zhì)譜計(jì)。其中有：蘭州物理研究所和北京分析儀器廠研制的ZP4001四極分壓強(qiáng)度;南京工學(xué)院和上海電動(dòng)工具研究所研制的SZn-l四極質(zhì)譜計(jì);蘭州物理研究所和虹光電子管廠研制的SJX-1小型四極分析器;清華大學(xué)和沈陽(yáng)教學(xué)儀器廠研制的ZLS-150四極濾質(zhì)器。20世紀(jì)80年代后期，隨著計(jì)算機(jī)的發(fā)展和普及，幾乎所有的四極質(zhì)譜計(jì)都采用計(jì)算機(jī)控制和數(shù)據(jù)自動(dòng)處理，而且針對(duì)不同應(yīng)用的專用四極儀器等方面得到飛速發(fā)展。
計(jì)算機(jī)對(duì)質(zhì)譜計(jì)控制包括：離子源各級(jí)電壓設(shè)定、發(fā)射電流調(diào)節(jié)、高頻電壓掃描方式、靜電計(jì)量程、電子倍增器高壓迭擇等。操作者根據(jù)要求可在操作軟件的不同的菜單中設(shè)定參數(shù)，計(jì)算機(jī)通過(guò)數(shù)—模轉(zhuǎn)換控制質(zhì)譜計(jì)電路各單元塊、加在質(zhì)譜探頭上的各級(jí)電壓。
計(jì)算機(jī)的使用為質(zhì)譜計(jì)的數(shù)據(jù)處理開(kāi)闊了很大的空間。根據(jù)使用要求，對(duì)系統(tǒng)的組分進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，給出模擬峰、棒峰、多組分離子強(qiáng)度走勢(shì)圖、多組分濃度走勢(shì)圖、多組分濃度表、多組分歸一化表等。測(cè)試的數(shù)據(jù)可進(jìn)行存儲(chǔ)，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，操作者可以將測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行再處理，如某一時(shí)段信號(hào)放大、求平均、計(jì)算誤差等。
