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通常，指標高于10^-9Pa的四極質(zhì)譜計的z*小可檢分壓力測試方法按下述步驟進行：

①將測試系統(tǒng)抽至極限壓力后，向測試系統(tǒng)充入氖氣，使電離計指示壓力高于極限壓力(1～2)倍。記錄氖分子離子峰20u的離子流Il和電離計的指示壓力P1。

②調(diào)節(jié)進樣閥，使電離計指示壓力增高l倍～10倍(但不允許高于2×10^-4Pa)，記錄20u的離子流I2和電離計的指示壓力P20

③計算

式中 S (Ne)-儀器對氖的靈敏度[A/Pa];

βNe——電離計對氖的相對靈敏度;

0.909-氖20同位素的相對豐度。

③在z*慢的掃描速度、z*靈敏的靜電計量程并保證峰高下降不超過10%的響應時間的條件下，記錄氖21同位素峰高H21(rrun);

④手動調(diào)節(jié)到氖21和氖22兩個同位素峰之間的谷上;

⑤關閉進樣閥，使測試系統(tǒng)壓力恢復到極限壓力，記錄壓力PO;

⑥記錄儀器輸出N (mm)，時間為Smin。按每分鐘一段分五段，測量每段噪聲的峰一峰值，五個峰一峰值的平均值為噪聲;

⑦計算

式中的0.00257為氖21同位素相對豐度。

對于z*小可檢分壓力小于10^-9Pa的儀器，該技術指標測試可利用氦在空氣中的體積分數(shù)為5.2×10^-6的關系，測量空氣樣晶中氦，參考上述方法進行。