技術(shù)指標(biāo)測(cè)試法：分壓靈敏度測(cè)試
四極質(zhì)譜計(jì)分壓靈敏度測(cè)量可按下述步驟進(jìn)行：
①將測(cè)試系統(tǒng)抽至極限壓力后，向測(cè)試系統(tǒng)充入氮?dú)?，使電離計(jì)指示壓力高于極限壓力(1～2)倍;
②掃描氮分子峰.調(diào)節(jié)儀器參數(shù)，在保證分辨本領(lǐng)(10%)達(dá)到28～35條件下，記錄M=28u峰的離子流Il和電離計(jì)的壓力Pl;
③調(diào)節(jié)進(jìn)樣，使電離計(jì)壓力再增高(1～10)倍，記錄M=28u峰的離子流I2和電離計(jì)的壓力P2;
④按公式(12 - 66)計(jì)算
式中 C-電離計(jì)校準(zhǔn)系數(shù)。
