磁控管型冷陰極離子源
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2014-10-17 閱讀
布盧姆(Blum)等設計的用于四極質譜計的冷陰極離子源是由雷德黑德冷陰極磁控規(guī)演變來的。
這種離子源的電子是由高壓放電產(chǎn)生的。由于存在磁場，電子按螺旋形軌跡向陽極運動，使其有效軌跡長度增加了104倍，因而提高了靈敏度。離子源的陽極電壓為2kV～5kV，陰極電匪為零。從改善性能出發(fā)，陰極可適當加偏置電壓。
整個離子源電極均固定在接地的圓筒形離子源外殼上，輔助陰極直接焊在外殼上。陰極和陽極用絕緣子支撐起來。此外，在離子源的設計中還設置一個保護環(huán)，它可以防止極間漏電，以免影響陰極電流的測量。從圖12-7可以看出，整個離子源外殼是和四極質譜計的人口電極直接連接的。
為了提高磁控管型冷陰極離子源的靈敏度，戴維斯( Davis)發(fā)展了一種具有熱燈絲的高靈敏度磁控管型離子源。圖12-8為該離子源簡圖。它采用了一個低工作溫度(700℃～800℃)的六硼化鑭一錸陰極，在陰極經(jīng)過除氣后，可以成功地分析10^-11Pa下的殘余氣體。這種離子源的能量分散較大，為4eV—8eV，這在一定程度上降低了質譜計的分辨本領。但因這種離子源消除了由電子碰撞脫附引起的表面離子峰，故對于殘余氣體分析來說是可取的。
