真空質(zhì)譜計(jì)的離子源
真空質(zhì)譜計(jì)離子源的功能是將氣體分子或原子電離為離子，并將所產(chǎn)生的離子由離子光學(xué)透鏡加速和聚焦，再引入分析器。
離子源的主要指標(biāo)是離子產(chǎn)額和離子能量分散度。離子產(chǎn)額定義為離子源產(chǎn)生的離子流和離子源內(nèi)壓力之比。對于一般大小的離子源和10^-4A—10^-3A的發(fā)射電子流，離子產(chǎn)額的范圍為10^-8A/Pa—l0^-6A/Pa。但通常只有一部分離子可適應(yīng)分析場的耍求，其原因是離子必須：①聚焦到離子源的一個(gè)很小的出口處；②分析器入口孔很小；③分析器所適應(yīng)的能量和角分散度有一定限度。所以有效的離子產(chǎn)額要更低一些。
真空質(zhì)譜計(jì)離子源通常采用電子碰撞源。離子是由帶一定能量的電子和中性氣體分子（或原子）相碰撞而產(chǎn)生的。這種源的基礎(chǔ)是尼爾( Nier)設(shè)計(jì)的正交式電子碰撞源，即所謂傳統(tǒng)電子碰撞式離子源。當(dāng)發(fā)射電子流一定時(shí)，離子源的離子產(chǎn)額的計(jì)算式可表達(dá)為
微分電離系數(shù)指一定能量電子在壓力為1Pa、溫度為0℃的氣體中，每1cm路程中產(chǎn)生的離子數(shù)。它與氣體種類有關(guān)，在電子能量約為70eV時(shí)，其典型數(shù)值為10^-3/cm.Pa—l0^-2/cm- Pa。提高離子產(chǎn)額的z*有效方法是增加電子的有效軌跡長度。圖12-2給出真空質(zhì)譜計(jì)的電子碰撞式離子源的分類。
