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可用于真空分析的質(zhì)譜計(jì)
標(biāo)簽: 質(zhì)譜計(jì)
2014-10-15  閱讀

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所有的真空質(zhì)譜計(jì)都具有三個(gè)組成部分:離子源、分析器和離子檢測(cè)器。按分析器工作原理的不同,真空質(zhì)譜計(jì)可歸納為以下四類(圖12-1):

可用于真空分析的質(zhì)譜計(jì)

第一類:磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)。在一定的入射速度下,根據(jù)不同質(zhì)荷比的離子在磁場(chǎng)中偏轉(zhuǎn)半徑的不同來(lái)進(jìn)行質(zhì)量分離的質(zhì)譜計(jì)。

第二類:飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)。在這種儀器中,給定能量(或動(dòng)能)的不同質(zhì)荷比的離子按其通過(guò)漂移管的時(shí)間不同而進(jìn)行質(zhì)量分離。

第三類:能量平衡質(zhì)譜計(jì)。根據(jù)離子在振蕩電場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)其動(dòng)能變化的不同而進(jìn)行質(zhì)量分離的儀器。屬于這類的儀器有:射頻質(zhì)譜計(jì)和回旋質(zhì)譜計(jì)。

第四類:穩(wěn)定性質(zhì)譜計(jì)。當(dāng)不同質(zhì)荷比的離子在分析場(chǎng)內(nèi)作振蕩運(yùn)動(dòng)時(shí),按其相位或軌跡的穩(wěn)定與否進(jìn)行質(zhì)量分離的儀器。屬于這類的儀器有:線振質(zhì)譜計(jì)、四極質(zhì)譜計(jì)、單極質(zhì)譜計(jì)和三維四極離子阱。

從擺線質(zhì)譜計(jì)的工作原理來(lái)看,可將它與磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)歸于同一類。所不同的是,擺線質(zhì)譜計(jì)的分析場(chǎng)是采用直流電場(chǎng)和恒定磁場(chǎng)的復(fù)合場(chǎng)。