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真空系統(tǒng)的氣體分析與分壓測量
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2014-10-14  閱讀

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目前,真空獲得技術(shù)已由超高真空發(fā)展到10^-10Pa—l0^-11Pa的極高真空階段。在超高真空和極高真空下,容器內(nèi)部的氣體組分和容器內(nèi)部的表面狀態(tài)關系十分密切。在研究這種條件下的真空物理和真空化學過程時,除了需要了解容器內(nèi)部的表面狀態(tài)外,還必須知道容器內(nèi)的氣體組分和...