真空規(guī)的測(cè)量值意味著什么?是全壓還是其它?這是必須要搞清楚的。
彈性變形規(guī)和U形壓力計(jì)是直接測(cè)出氣體全壓的，與氣體種類無關(guān)。因此它的測(cè)量值是明確的。壓縮規(guī)只能測(cè)出理想氣體的分壓，而與理想氣體的種類無關(guān)，它不能測(cè)出可凝蒸氣的分壓?？伺?guī)只有在假定熱適應(yīng)系數(shù)a=l時(shí)，其指標(biāo)值與氣體成分無關(guān)，才能夠測(cè)出全壓。其它一些常用規(guī)型，不能直接測(cè)量全壓，而是測(cè)量與氣體壓力有關(guān)的某個(gè)物理量(如熱傳導(dǎo)、粘滯性、分子密度等)，所以指示值與氣體種類有關(guān)，需要對(duì)各種氣體分別進(jìn)行校準(zhǔn)。實(shí)際系統(tǒng)中的氣體氛圍是各種氣體和蒸氣的混合，往往不清楚其組成，所以用這些真空規(guī)測(cè)量時(shí)，不能真實(shí)地表示出來被測(cè)氣體的全壓。這時(shí)只能用“等效氮壓”來表示。在用電離計(jì)進(jìn)行測(cè)量時(shí)，如果系統(tǒng)中的主要組分是油蒸氣，那么所表示的“等效氮壓”會(huì)比實(shí)際壓力大10倍左右，如系統(tǒng)中主要是氦氣，那么將比實(shí)際壓力小5倍左右。在用電離計(jì)測(cè)水銀擴(kuò)散泵和油擴(kuò)散泵的極限壓力時(shí)，如兩者讀數(shù)一樣，反而說明兩泵真正的極限壓力并不相同，因?yàn)楸到y(tǒng)中的殘余氣體成分是不同的。
管規(guī)的指示值是與規(guī)殼中的壓力有關(guān)，但是測(cè)量的目的應(yīng)是，指示出連接導(dǎo)管開口處系統(tǒng)中的壓力，所以校準(zhǔn)時(shí)規(guī)的輸出值需對(duì)應(yīng)于導(dǎo)管口的壓力，并且要求校準(zhǔn)條件(溫度、氣體、連接管長(zhǎng)短等)與實(shí)際使用時(shí)相同，否則需進(jìn)行修正。由于實(shí)際條件往往難以控制和不能精確知道，致使修正十分困難，從而使得測(cè)量值不夠明確。
因此，真空規(guī)測(cè)量值能否表征被測(cè)系統(tǒng)中的全壓(即真空度)，必須進(jìn)行正確的判斷和評(píng)價(jià)，才能獲得明確的結(jié)果。對(duì)測(cè)量值的評(píng)價(jià)可歸納為下列幾點(diǎn)：
①測(cè)定值與真空規(guī)的安裝位置有關(guān);
②應(yīng)對(duì)管規(guī)導(dǎo)管開口處壓力進(jìn)行校準(zhǔn);
③在不知道氣體組分時(shí)，如用“等效氮壓”來表征，將使測(cè)量值不夠明確。
在某些情況下，用氣體分子密度、分子入射率、方向性壓力等來表征真空度，可能比用氣體全壓的概念更明確。但是在采用新的表征真空度的物理量的同時(shí)，要求選擇合適的規(guī)型和研究新的測(cè)量方法和技術(shù)。
