規(guī)中氣體的再釋放
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2014-10-10 閱讀
①熱解吸。熱陰極電離規(guī)的高溫陰極本身就是一種氣源，它的高溫?zé)崃枯椛涞狡渌姌O和規(guī)壁上，將引起氣體的熱解吸。此外，柵極接受電子、收集極接受離子時，也會因發(fā)熱而導(dǎo)致氣體的熱解吸。為了消除熱解吸對測量的影響，要預(yù)先對規(guī)各電極和規(guī)壁進行充分除氣?？梢圆捎煤嫦浜婵?、電子轟擊、歐姆加熱、高頻加熱等方法來除氣。尤其是在超高真空環(huán)境中使用熱陰極規(guī)時，必須采用嚴(yán)格的除氣規(guī)程。
②電解吸。由于電子收集極上存在氣體吸附層，當(dāng)電子打在其表面時會使吸附層的氣體解吸，或先在表面將氣體電離后再以離子形式解吸出來，這就是所謂的電于碰撞解吸(ED)效應(yīng)，它是熱陰極電離規(guī)的一個重要的下限因素。
③光解吸。光解吸指的是固體表面受光輻照時，表面上的分子解吸和分解現(xiàn)象。在超高真空測量中，需要注意此現(xiàn)象。光解吸截面與光的波長有關(guān)(圖11-77，圖11-78)。
由于在高能加速器和受控聚變反應(yīng)器中存在著強烈的輻射，所以這種真空裝置中的光解吸問題更為嚴(yán)重。
