電離規(guī)的抽氣作用:電清除抽氣
電子碰撞氣體分子使其電離產(chǎn)生離子。具有一定能量的離子(約lOOeV)打到規(guī)壁或收集極時(shí)，這些離子被束縛在固體表面或被埋入表層下面而被清除，束縛得z*牢的分子要經(jīng)過300℃的烘烤才能再釋放出來(lái)。如果規(guī)管內(nèi)壁存在濺射的金屬薄膜，則對(duì)氦氣也有一定的抽氣作用。
電清除抽氣速率SE的大小與電子流、各極電位、有無(wú)磁場(chǎng)、規(guī)壁溫度等因素有關(guān)。若電子流增加，離子流也呈線性增加，所以電清除抽氣速率SE與電子流有近似的線性關(guān)系。柵極電位變化將改變電離概率和離子能量，因此電清除抽氣速率SE也隨之變化(圖11-76)。
在冷磁控規(guī)中，因有磁場(chǎng)存在，電離效率更高，所以在冷磁控規(guī)中電清除作用也更大。
電離規(guī)規(guī)壁的溫度和電位對(duì)電清除抽速有較大影響。當(dāng)規(guī)壁溫度下降時(shí)，會(huì)使電清除抽速增大和被束縛分子的再釋放速率降低。當(dāng)規(guī)壁處于柵極電位時(shí)的電清除抽速是規(guī)壁電位為陰極電位時(shí)的1/5。
為了降低電清除作用，需降低燈絲發(fā)射的電子流和柵極電壓。例如在B-A規(guī)中，Ie=10mA,Se=0.03L/s,Ie=100μA，Se=3*10^-4L/S。
當(dāng)收集極和規(guī)壁已束縛了一個(gè)單分子層時(shí)，清除作用就逐漸衰減。
電離規(guī)對(duì)氮的清除作用較大，這是由于除上述的電離清除效應(yīng)外，還由于電子碰撞氮分子可使氮處于激發(fā)態(tài)，變成了活性分子（或原子）而產(chǎn)生化學(xué)清除效應(yīng)。
電清除抽氣速率SE的大小與電子流、各極電位、有無(wú)磁場(chǎng)、規(guī)壁溫度等因素有關(guān)。若電子流增加，離子流也呈線性增加，所以電清除抽氣速率SE與電子流有近似的線性關(guān)系。柵極電位變化將改變電離概率和離子能量，因此電清除抽氣速率SE也隨之變化(圖11-76)。
在冷磁控規(guī)中，因有磁場(chǎng)存在，電離效率更高，所以在冷磁控規(guī)中電清除作用也更大。
電離規(guī)規(guī)壁的溫度和電位對(duì)電清除抽速有較大影響。當(dāng)規(guī)壁溫度下降時(shí)，會(huì)使電清除抽速增大和被束縛分子的再釋放速率降低。當(dāng)規(guī)壁處于柵極電位時(shí)的電清除抽速是規(guī)壁電位為陰極電位時(shí)的1/5。
為了降低電清除作用，需降低燈絲發(fā)射的電子流和柵極電壓。例如在B-A規(guī)中，Ie=10mA,Se=0.03L/s,Ie=100μA，Se=3*10^-4L/S。
當(dāng)收集極和規(guī)壁已束縛了一個(gè)單分子層時(shí)，清除作用就逐漸衰減。
電離規(guī)對(duì)氮的清除作用較大，這是由于除上述的電離清除效應(yīng)外，還由于電子碰撞氮分子可使氮處于激發(fā)態(tài)，變成了活性分子（或原子）而產(chǎn)生化學(xué)清除效應(yīng)。
