氧氣與真空規(guī)
如果被測氣體是氮?dú)饣蚨栊詺怏w（如氦、氖等）就比較簡單。但多數(shù)情況下，系統(tǒng)中的氣體是氮、氧、氫、一氧化碳、二氧化碳、水蒸氣、氬、氦、甲烷、汞和油蒸氣等多種氣體和蒸氣的不同組合，其中尤以氧、水蒸氣、油蒸氣等組分會(huì)給真空規(guī)帶來壞的影響，在選用真空規(guī)時(shí)必須認(rèn)真考慮氣體組分對真空測量的影響。
氧是理想氣體，所以可用壓縮式真空規(guī)進(jìn)行測量，但分壓過高時(shí)，會(huì)使水銀表面發(fā)生氧化，從而污染玻璃毛細(xì)管的內(nèi)表面，導(dǎo)致水銀毛細(xì)壓低值的無規(guī)則變化，產(chǎn)生很大的測量誤差。氧對水銀U形壓力計(jì)也有同樣的影響。
氧氣會(huì)使熱傳導(dǎo)規(guī)的熱絲氧化，改變熱絲的表面狀態(tài)，引起規(guī)管零點(diǎn)漂移和靈敏度的改變。如采用抗氧化性好的白金絲作熱絲，則能使規(guī)管性能穩(wěn)定。
電離規(guī)的熱陰極在氧氣中工作會(huì)有明顯的損耗。如果在高于10^-2Pa的氧壓下工作，鎢陰極很快就會(huì)被燒壞。如果在低于10^-3Pa的氧壓下工作，鎢陰極兢可以長時(shí)間使用。熱陰極電離規(guī)對氧氣有較大的抽速，冷陰極電離規(guī)對氧氣的抽速更大。
在粗低真空區(qū)間測定氧壓的z*好規(guī)型是薄膜規(guī)（尤其是不銹鋼制的電容薄膜規(guī)）。也可采用
規(guī)和
規(guī)。
測量空氣(N2、02)壓力時(shí)應(yīng)考慮規(guī)與氧氣的作用。
氧是理想氣體，所以可用壓縮式真空規(guī)進(jìn)行測量，但分壓過高時(shí)，會(huì)使水銀表面發(fā)生氧化，從而污染玻璃毛細(xì)管的內(nèi)表面，導(dǎo)致水銀毛細(xì)壓低值的無規(guī)則變化，產(chǎn)生很大的測量誤差。氧對水銀U形壓力計(jì)也有同樣的影響。
氧氣會(huì)使熱傳導(dǎo)規(guī)的熱絲氧化，改變熱絲的表面狀態(tài)，引起規(guī)管零點(diǎn)漂移和靈敏度的改變。如采用抗氧化性好的白金絲作熱絲，則能使規(guī)管性能穩(wěn)定。
電離規(guī)的熱陰極在氧氣中工作會(huì)有明顯的損耗。如果在高于10^-2Pa的氧壓下工作，鎢陰極很快就會(huì)被燒壞。如果在低于10^-3Pa的氧壓下工作，鎢陰極兢可以長時(shí)間使用。熱陰極電離規(guī)對氧氣有較大的抽速，冷陰極電離規(guī)對氧氣的抽速更大。
在粗低真空區(qū)間測定氧壓的z*好規(guī)型是薄膜規(guī)（尤其是不銹鋼制的電容薄膜規(guī)）。也可采用
規(guī)和規(guī)。測量空氣(N2、02)壓力時(shí)應(yīng)考慮規(guī)與氧氣的作用。
