動態(tài)流量法的理論問題
分子流理論是動態(tài)流量法的理論基礎(chǔ)。但是在超高真空和極高真空區(qū)間，分子流理論的前提假設(shè)條件已難以完全滿足，一些基本定律已不完全適用。
動態(tài)流量法的特點是將大流量的氣流注入到校準(zhǔn)室中，通過比較大的流導(dǎo)U2進行抽氣，建立起動態(tài)平衡的氣流狀態(tài)，所以此法可以忽略吸附和解吸的影響。但是這種較強的定向氣流，會使各向同性的分子流狀態(tài)發(fā)生畸變。
通過理想小孔的分子流，其氣流密度的角分布是符合余弦散射定律的，在極坐標(biāo)上此氣流密度角分布的花樣是球面形的。但是通過實際小孔（短管）的分子流，其氣流密度角分布的花樣就不再是球面形的了，而呈橢球面形，即發(fā)生了分子聚束效應(yīng)。這種聚束效應(yīng)使容器中的氣流狀態(tài)具有方向性，從而使分子速度的分布偏離麥克斯韋分布定律。
容器壁存在著吸附效應(yīng)，容器壁面過于光滑或粗糙將會使分子發(fā)生鏡面反射或反向散射，在導(dǎo)管中存在氣流的滑動、爬移、飛越等流動形式，都導(dǎo)致分子碰壁后的散射偏離余弦散射定律。
當(dāng)校準(zhǔn)系統(tǒng)中存在著低溫泵、高溫陰極等冷、熱源時，會使氣流的熱平衡條件遭到破壞。在這樣的非均勻熱力學(xué)環(huán)境中，分子速度分布不再符合麥克斯韋分布定律。
總之，在超高真空和極高真空下，氣體分子平均自由程越來越大，空間分子數(shù)越來越少，容器表面上發(fā)生的效應(yīng)具有更大的重要性。以描述空間分子狀態(tài)為主的分子流理論必須向前發(fā)展，才能描述這種壓力下的物理現(xiàn)象。同時在超稀薄的非均勻的分子流狀態(tài)下，“壓力”這一屬于各向同性的流體靜力學(xué)的物理概念，已失去了它原來的物理意義，起伏效應(yīng)變得明顯，統(tǒng)計學(xué)的近似性就表現(xiàn)出來了。
由克努曾（1909年）和斯莫爾霍夫斯基（1910年）兩人奠定的，隨后由克勞辛（1932年）等人發(fā)展起來的分子流理論，隨著擴散泵抽速測量等研究的發(fā)展，已有很大的提高。但是隨著動態(tài)流量法校準(zhǔn)研究的深入，又提出分子流理論尚未解決的許多新課題。目前，s*先應(yīng)該把分子流理論的已有成果進一步引進到動態(tài)流量法校準(zhǔn)的設(shè)計中去，盡可能避免偏離分子流理論所要求的條件，以提高校準(zhǔn)工作的精度。反過來，隨著校準(zhǔn)研究的發(fā)展，也必然會推動分子流理論向更高級的階段前進。
動態(tài)流量法的特點是將大流量的氣流注入到校準(zhǔn)室中，通過比較大的流導(dǎo)U2進行抽氣，建立起動態(tài)平衡的氣流狀態(tài)，所以此法可以忽略吸附和解吸的影響。但是這種較強的定向氣流，會使各向同性的分子流狀態(tài)發(fā)生畸變。
通過理想小孔的分子流，其氣流密度的角分布是符合余弦散射定律的，在極坐標(biāo)上此氣流密度角分布的花樣是球面形的。但是通過實際小孔（短管）的分子流，其氣流密度角分布的花樣就不再是球面形的了，而呈橢球面形，即發(fā)生了分子聚束效應(yīng)。這種聚束效應(yīng)使容器中的氣流狀態(tài)具有方向性，從而使分子速度的分布偏離麥克斯韋分布定律。
容器壁存在著吸附效應(yīng)，容器壁面過于光滑或粗糙將會使分子發(fā)生鏡面反射或反向散射，在導(dǎo)管中存在氣流的滑動、爬移、飛越等流動形式，都導(dǎo)致分子碰壁后的散射偏離余弦散射定律。
當(dāng)校準(zhǔn)系統(tǒng)中存在著低溫泵、高溫陰極等冷、熱源時，會使氣流的熱平衡條件遭到破壞。在這樣的非均勻熱力學(xué)環(huán)境中，分子速度分布不再符合麥克斯韋分布定律。
總之，在超高真空和極高真空下，氣體分子平均自由程越來越大，空間分子數(shù)越來越少，容器表面上發(fā)生的效應(yīng)具有更大的重要性。以描述空間分子狀態(tài)為主的分子流理論必須向前發(fā)展，才能描述這種壓力下的物理現(xiàn)象。同時在超稀薄的非均勻的分子流狀態(tài)下，“壓力”這一屬于各向同性的流體靜力學(xué)的物理概念，已失去了它原來的物理意義，起伏效應(yīng)變得明顯，統(tǒng)計學(xué)的近似性就表現(xiàn)出來了。
由克努曾（1909年）和斯莫爾霍夫斯基（1910年）兩人奠定的，隨后由克勞辛（1932年）等人發(fā)展起來的分子流理論，隨著擴散泵抽速測量等研究的發(fā)展，已有很大的提高。但是隨著動態(tài)流量法校準(zhǔn)研究的深入，又提出分子流理論尚未解決的許多新課題。目前，s*先應(yīng)該把分子流理論的已有成果進一步引進到動態(tài)流量法校準(zhǔn)的設(shè)計中去，盡可能避免偏離分子流理論所要求的條件，以提高校準(zhǔn)工作的精度。反過來，隨著校準(zhǔn)研究的發(fā)展，也必然會推動分子流理論向更高級的階段前進。
