動(dòng)態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)
已建成的動(dòng)態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)按結(jié)構(gòu)分類有如下幾種類型：固定流導(dǎo)法(圖11-71、圖11-72)、可變流導(dǎo)法(圖11-73)及參考轉(zhuǎn)換器法（圖11-74）等。
所采用的上游參考標(biāo)準(zhǔn)有精密U形壓力計(jì)、壓縮式真空規(guī)、精密流量計(jì)、電容薄膜規(guī)、B-A規(guī)等。后兩種是相對(duì)規(guī)，要經(jīng)過精確校準(zhǔn)后才能用作參考標(biāo)準(zhǔn)。
標(biāo)準(zhǔn)流導(dǎo)U1可采用玻璃毛細(xì)管、金屬毛細(xì)管、多孔玻璃塞以及金屬微孔等。標(biāo)準(zhǔn)流導(dǎo)U2可采用玻璃圓孔或金屬圓孔。
1988年美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)建立了動(dòng)態(tài)流量法真空校準(zhǔn)裝置，測(cè)量范圍為10^-1Pa—10^-7Pa，不確定度為1.4%～8.2%。開展了磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)和熱陰極電離規(guī)的絕對(duì)校準(zhǔn)工作。1992年德國(guó)物理技術(shù)研究院(PTB)也建立了動(dòng)態(tài)流量法真空校準(zhǔn)裝置，測(cè)量范圍為10^-2Pa—10^-6Pa，不確定度為1%～4%。進(jìn)行了小孔流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置和靜態(tài)膨脹法真空校準(zhǔn)裝置的比對(duì)工作。圖11-75是動(dòng)態(tài)流量法超高真空校準(zhǔn)裝置原理圖，校準(zhǔn)范圍為10^-7Pa—10^-2Pa，不確定度為3% (10^-2Pa～10^-6Pa)～10%(10^-7Pa)。
所采用的上游參考標(biāo)準(zhǔn)有精密U形壓力計(jì)、壓縮式真空規(guī)、精密流量計(jì)、電容薄膜規(guī)、B-A規(guī)等。后兩種是相對(duì)規(guī)，要經(jīng)過精確校準(zhǔn)后才能用作參考標(biāo)準(zhǔn)。
標(biāo)準(zhǔn)流導(dǎo)U1可采用玻璃毛細(xì)管、金屬毛細(xì)管、多孔玻璃塞以及金屬微孔等。標(biāo)準(zhǔn)流導(dǎo)U2可采用玻璃圓孔或金屬圓孔。
1988年美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)建立了動(dòng)態(tài)流量法真空校準(zhǔn)裝置，測(cè)量范圍為10^-1Pa—10^-7Pa，不確定度為1.4%～8.2%。開展了磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)和熱陰極電離規(guī)的絕對(duì)校準(zhǔn)工作。1992年德國(guó)物理技術(shù)研究院(PTB)也建立了動(dòng)態(tài)流量法真空校準(zhǔn)裝置，測(cè)量范圍為10^-2Pa—10^-6Pa，不確定度為1%～4%。進(jìn)行了小孔流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置和靜態(tài)膨脹法真空校準(zhǔn)裝置的比對(duì)工作。圖11-75是動(dòng)態(tài)流量法超高真空校準(zhǔn)裝置原理圖，校準(zhǔn)范圍為10^-7Pa—10^-2Pa，不確定度為3% (10^-2Pa～10^-6Pa)～10%(10^-7Pa)。
