概括地說,動態(tài)流量法具體地說,有如下四個原則:
?、俦M可能保證分子流狀態(tài)。例如要防止分子束射效應,避免定向流的存在。國際標準化組織公布的草案(ISO/DIS3570/1)中規(guī)定,流導U2前后的兩個容器的內(nèi)切球表面積應比孔U2的面積大1000倍,z*好選用球形校準容器,因為球是一個各向同性的形狀,有利于克服分子束射效應和建立起各向同性運動的分子流狀態(tài)。
?、诒M可能保證等溫條件。例如要考慮熱陰極、冷阱以及
低溫泵等冷、熱輻射的影響。
?、郾M可能采用近于理想圓孔的流導。國際標準草案規(guī)定孔徑和孔厚之比(d/L)≥50;
?、鼙M可能滿足S《Sg、p
M》p、Q》Qo和p》p
e的條件。這主要取決于抽氣系統(tǒng)的設計和p
M、U1、U2的選擇,其中z*關鍵的是選擇U2。若選用大的U2,則要求S和Q增大并使p下降,這樣就比較容易滿足S《Sg、Q》Qo和pM》p,但是如果所選擇的U2太大,則會導致定向氣流過強,使校準室中產(chǎn)生非均勻氣流。再者選擇的U2太大就要求泵抽速S
e進一步提高,才能滿足p》p
e。因此如何恰當?shù)剡x擇U2,需權衡這些相互制約的因素。國際標準草案規(guī)定S
e≥50U2。