圖11-70是動(dòng)態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)的原理圖。
根據(jù)氣流連續(xù)性方程,有
在穩(wěn)定平衡時(shí)
如果我們用絕對(duì)規(guī)測(cè)量p
M,并據(jù)分子流理論,按結(jié)構(gòu)尺寸計(jì)算出(11- 52)就可計(jì)算出壓力p,于是就能對(duì)接于校準(zhǔn)室上的規(guī)管進(jìn)行校準(zhǔn)。
在氣流處于熱平衡的條件下,圓形短管的分子流流導(dǎo)公式為
式(11-56)說明分子流導(dǎo)之比僅是導(dǎo)管尺寸的函數(shù),而與氣體成分無關(guān)。這一點(diǎn)使動(dòng)態(tài)流量法更具“絕對(duì)性”,也是此法的重要優(yōu)點(diǎn)之一。
從上述原理可知,動(dòng)態(tài)流量法是把大流量的氣流注入系統(tǒng)中,用串聯(lián)的流導(dǎo)建立起氣流動(dòng)態(tài)平衡的校準(zhǔn)方法。此法具有如下特點(diǎn):
?、傥胶徒馕?yīng)的影響很小:
?、谠跓崞胶獾姆肿恿鳡顟B(tài)下,流導(dǎo)比僅是結(jié)構(gòu)尺寸的函數(shù),而與氣體成分無關(guān);
?、坌?zhǔn)壓力下限可隨
真空獲得水平的提高而延伸;
?、芙Y(jié)構(gòu)和工藝不很復(fù)雜。
目前,動(dòng)態(tài)流量法已廣泛用于高真空和超高真空校準(zhǔn),并已成為z*主要方法,其校準(zhǔn)壓力的下限已延伸到10^-10Pa。