以絕對
真空規(guī)為標(biāo)準(zhǔn),將被校真空規(guī)與絕對真空規(guī)進(jìn)行直接比較的系統(tǒng),稱為絕對真空規(guī)比對校準(zhǔn)系統(tǒng)。
絕對真空規(guī)除前面已分別介紹的精密U形壓力計、壓縮式真空規(guī)、磁懸轉(zhuǎn)子粘滯性規(guī)和克努曾規(guī)以外,還有活塞規(guī)、葉片規(guī)、布朗運動規(guī)等。目前只有精密U形壓力計和壓縮式真空規(guī)被一些國家列為國家級標(biāo)準(zhǔn)。
國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)公布的草案(ISO/DIS5367,ISO/DIS5300)中,對設(shè)計比對校準(zhǔn)系統(tǒng)作了如下具體規(guī)定:
?、傩?zhǔn)室的體積至少應(yīng)該是接在系統(tǒng)上的所有規(guī)管的總體積的20倍;
?、谛?zhǔn)室形狀應(yīng)使它的表面積與體積之比盡可能小。故選用球形容器z*理想。如選用圓筒形容器,則要求筒長與筒徑之比不大于4;
?、垡?guī)管連接管的形狀要保證使氣體分子進(jìn)入規(guī)的工作區(qū)域前,至少能與管壁碰撞一次;
?、馨惭b在校準(zhǔn)室上的所有規(guī)管之間的壓力差和溫差不應(yīng)導(dǎo)致引進(jìn)明顯的測量誤差;
?、菀?guī)管連接管的流導(dǎo)至少應(yīng)為規(guī)管吸附速率(或解吸速率)的100倍;
?、尴到y(tǒng)的極限壓力應(yīng)低于z*低校準(zhǔn)壓力的20%。