真空規(guī):分離規(guī)短收集極規(guī)等概述
分離規(guī)（圖11-56）與抑制規(guī)不同之處是收集極為短的細(xì)金屬絲。增加了離子反射極，沒有抑制極，環(huán)形陰極是環(huán)繞柵極安裝的。陰極、屏和離子反射極的電壓都是200V，柵極電壓Vg= 305V，發(fā)射電流Ie=2mA，離子收集極通過靜電計接地，規(guī)管靈敏度系數(shù)K=0.98A/Pa，X射線效應(yīng)引起的下限壓力Px約4×10^-11Pa。此規(guī)的主要特點是電子碰撞解吸效應(yīng)很小。
短收集極規(guī)（圖11-57）和掩埋收集極規(guī)（圖11-58）的結(jié)構(gòu)與分離規(guī)相似，性能也大同小異。
1966年文獻(xiàn)[156]推算短收集規(guī)的px約6.7×10 ^-11Pa，預(yù)計可測10^ -10 Pa的壓力。但1968年的文獻(xiàn)[157]報道．此規(guī)在壓力p<6.7×10^-8Pa時，已漸漸偏離線性。1972年資料[158]認(rèn)為一般短收集極規(guī)（包括上述三種類型）的測量下限約為1Pa—5×10^ -9Pa。
1966年文獻(xiàn)[156]推算短收集規(guī)的px約6.7×10 ^-11Pa，預(yù)計可測10^ -10 Pa的壓力。但1968年的文獻(xiàn)[157]報道．此規(guī)在壓力p<6.7×10^-8Pa時，已漸漸偏離線性。1972年資料[158]認(rèn)為一般短收集極規(guī)（包括上述三種類型）的測量下限約為1Pa—5×10^ -9Pa。
