真空規(guī):場致發(fā)射冷陰極彎注規(guī)場
致發(fā)射冷陰極彎注規(guī)由場致發(fā)射冷陰極、離子產(chǎn)生器、離子偏轉(zhuǎn)器及離子收集極四部分組成，結(jié)構(gòu)如圖11-55所示。離子產(chǎn)生器主要部分是一個Pt-clad-Mo合金柵網(wǎng)，電子由冷陰極發(fā)射后在柵網(wǎng)空間振蕩并使氣體分子電離，離子偏轉(zhuǎn)器利用靜電場使離子偏轉(zhuǎn)256.4°后打在收集極上。收集極由通道倍增器組成，規(guī)管主要部件均由含氫量低的特種不銹鋼制成。
由于采用冷陰極消除了高溫熱陰極效應(yīng)。規(guī)管I作前置于10^-4Pa真空中1000℃烘烤24h，大大降低了規(guī)管出氣率。采用了256.4°的離子偏轉(zhuǎn)器，能有效分開氣相離子和ESD離子磁撞解吸離子，大大降低了ESD離子噪聲，另外也使收集極免受X射線照射，大大減小了X射線效應(yīng)。規(guī)管的X射線本底壓力及ESD離子本底壓力降至10^-13Pa量級。采用通道倍增器提高了離子檢測靈敏度，當測量1×10 ^-11Pa壓力時，只需0.01mA的發(fā)射電流。
由于采用冷陰極消除了高溫熱陰極效應(yīng)。規(guī)管I作前置于10^-4Pa真空中1000℃烘烤24h，大大降低了規(guī)管出氣率。采用了256.4°的離子偏轉(zhuǎn)器，能有效分開氣相離子和ESD離子磁撞解吸離子，大大降低了ESD離子噪聲，另外也使收集極免受X射線照射，大大減小了X射線效應(yīng)。規(guī)管的X射線本底壓力及ESD離子本底壓力降至10^-13Pa量級。采用通道倍增器提高了離子檢測靈敏度，當測量1×10 ^-11Pa壓力時，只需0.01mA的發(fā)射電流。
