極高真空規(guī):雙彎注規(guī)的簡(jiǎn)介
雙彎注規(guī)是管型電子倍增器電離規(guī)的一種，其規(guī)管靈敏度系數(shù)K= 1.5×10^18[(C／S①／(A．Pa)]，測(cè)量下限PR≤1×10^ -10Pa，預(yù)計(jì)可測(cè)10^ -12Pa的極高真空。雙彎注規(guī)的結(jié)構(gòu)原理如圖11-54所示。
離子在偏轉(zhuǎn)極V1的電場(chǎng)作用下，通過屏中心孔偏轉(zhuǎn)90°，然后通過第二個(gè)屏中心孔，進(jìn)入第二偏轉(zhuǎn)極V2，再偏轉(zhuǎn)90°，打在CEM電子信增器的接收窗口，被CEM接收計(jì)數(shù)。由于離子流經(jīng)過兩級(jí)偏轉(zhuǎn)，X射線效應(yīng)影響極小。
離子在偏轉(zhuǎn)極V1的電場(chǎng)作用下，通過屏中心孔偏轉(zhuǎn)90°，然后通過第二個(gè)屏中心孔，進(jìn)入第二偏轉(zhuǎn)極V2，再偏轉(zhuǎn)90°，打在CEM電子信增器的接收窗口，被CEM接收計(jì)數(shù)。由于離子流經(jīng)過兩級(jí)偏轉(zhuǎn)，X射線效應(yīng)影響極小。
