極高真空規(guī):彎注規(guī)的簡(jiǎn)介
彎注規(guī)是抑制規(guī)的發(fā)展，即在抑制規(guī)的電離區(qū)域與離子收集系統(tǒng)之間增加了一個(gè)靜電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，使離子收集極系統(tǒng)的軸線相對(duì)柵極的軸線偏轉(zhuǎn)了90°。
靜電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的作用如下：
?、俅┻^聚焦極圓孔的離子束在偏轉(zhuǎn)極的靜電場(chǎng)的作用下，偏轉(zhuǎn)90°后到達(dá)離子收集極。引出離子束的離子能量分散僅有SeV的寬度，所以只需要一個(gè)簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的靜電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)就能使大部分離子偏轉(zhuǎn)到收集極上。
②偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)對(duì)軟X射線來說是一個(gè)很好的屏蔽。從聚焦極圓孔射入的軟X射線，只有經(jīng)過多次反射才能打到離子收集極上，這使彎注規(guī)的X射線效應(yīng)要比抑制規(guī)大為降低。
彎注規(guī)工作參數(shù)：陰極電壓Vf=125V，發(fā)射電流Ie=2mA，柵極電壓Vg=200V，聚焦極、外偏轉(zhuǎn)極、屏蔽極處于地電位；內(nèi)偏轉(zhuǎn)極電壓Vb=-340V，抑制極電壓Vs=-450V，收集極經(jīng)過靜電計(jì)接地。規(guī)管常數(shù)K=0.14/Pa。
當(dāng)內(nèi)偏轉(zhuǎn)極加正電壓時(shí)，離子不能偏轉(zhuǎn)到離子收集極上，離子收集極上測(cè)出的電流主要為剩余電流。當(dāng)Vs=0時(shí)，剩余電流為1×10^-14A;當(dāng)Vs=-450V時(shí)，剩余電流為1×10^-15A，相應(yīng)的等效壓力為3.3×10^ -12Pa。由此可知，彎注規(guī)能夠測(cè)量低到10^-11Pa的壓力，也有希望粗略指示10^ -12Pa的壓力。但是由于高溫陰極的存在，陰極的蒸氣壓和出氣速率都可能妨礙獲得< 10 ^-11Pa的壓力。因此能否用彎注規(guī)測(cè)量低于10 ^-11Pa的壓力，主要取狹于陰極性能。
從目前情況看，彎注規(guī)是所有極高真空規(guī)中z*好的一種，性能穩(wěn)定可靠。實(shí)測(cè)到的z*低壓力已達(dá)10 ^-11Pa。在沒有極高真空校準(zhǔn)系統(tǒng)的條件下，研制新型極高真空規(guī)時(shí)，大都以彎注規(guī)的讀數(shù)作為壓力的參考值。
靜電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的作用如下：
?、俅┻^聚焦極圓孔的離子束在偏轉(zhuǎn)極的靜電場(chǎng)的作用下，偏轉(zhuǎn)90°后到達(dá)離子收集極。引出離子束的離子能量分散僅有SeV的寬度，所以只需要一個(gè)簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的靜電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)就能使大部分離子偏轉(zhuǎn)到收集極上。
②偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)對(duì)軟X射線來說是一個(gè)很好的屏蔽。從聚焦極圓孔射入的軟X射線，只有經(jīng)過多次反射才能打到離子收集極上，這使彎注規(guī)的X射線效應(yīng)要比抑制規(guī)大為降低。
彎注規(guī)工作參數(shù)：陰極電壓Vf=125V，發(fā)射電流Ie=2mA，柵極電壓Vg=200V，聚焦極、外偏轉(zhuǎn)極、屏蔽極處于地電位；內(nèi)偏轉(zhuǎn)極電壓Vb=-340V，抑制極電壓Vs=-450V，收集極經(jīng)過靜電計(jì)接地。規(guī)管常數(shù)K=0.14/Pa。
當(dāng)內(nèi)偏轉(zhuǎn)極加正電壓時(shí)，離子不能偏轉(zhuǎn)到離子收集極上，離子收集極上測(cè)出的電流主要為剩余電流。當(dāng)Vs=0時(shí)，剩余電流為1×10^-14A;當(dāng)Vs=-450V時(shí)，剩余電流為1×10^-15A，相應(yīng)的等效壓力為3.3×10^ -12Pa。由此可知，彎注規(guī)能夠測(cè)量低到10^-11Pa的壓力，也有希望粗略指示10^ -12Pa的壓力。但是由于高溫陰極的存在，陰極的蒸氣壓和出氣速率都可能妨礙獲得< 10 ^-11Pa的壓力。因此能否用彎注規(guī)測(cè)量低于10 ^-11Pa的壓力，主要取狹于陰極性能。
從目前情況看，彎注規(guī)是所有極高真空規(guī)中z*好的一種，性能穩(wěn)定可靠。實(shí)測(cè)到的z*低壓力已達(dá)10 ^-11Pa。在沒有極高真空校準(zhǔn)系統(tǒng)的條件下，研制新型極高真空規(guī)時(shí)，大都以彎注規(guī)的讀數(shù)作為壓力的參考值。
