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壓阻式真空規的傳感器為壓阻式絕對壓力傳感器。它是利用集成電路的擴散工藝將四個等值電阻做在一塊硅片薄膜上，聯接為平衡電橋。硅膜片利用機械加工和化學腐蝕方法制成硅環，然后用金硅共熔工藝或用其他特殊工藝將硅環與襯片燒結在一起。硅環膜片內側為標準壓力(約1×10^-3Pa...
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