真空規(guī)：薄膜真空規(guī)的概述
用金屬彈性薄膜把規(guī)管分隔成兩個小室，一側(cè)接被測系統(tǒng)，另一側(cè)作為參考壓力室。當(dāng)壓力變化時薄膜隨之而變形，其變形量可用光學(xué)方法測量，也可轉(zhuǎn)換為電容或電感量的變化用電學(xué)方法來測量，還可用薄膜上粘附的應(yīng)變規(guī)來進(jìn)行測量。
近年來，電容薄膜規(guī)的發(fā)展很快，被廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域。電容薄膜規(guī)分為兩種類型：一種將薄膜的一邊密封為參考真空，成為“絕壓式”電容薄膜規(guī)；另一種是薄膜的兩邊均通人氣體，成為“差壓式”電容薄膜規(guī)。電容薄膜規(guī)具有卓越的線性、較高的測量精度和分辨率。單個傳感器的測量范圍可覆蓋5個數(shù)量級的壓力區(qū)間，短期穩(wěn)定性優(yōu)于0.1%，長期穩(wěn)定性（一年）優(yōu)于0.4%。電容薄膜規(guī)的靈敏度與氣體種類無關(guān)，可測蒸氣和腐蝕性氣體的壓力，結(jié)構(gòu)牢固，使用方便，還可作為粗低真空的副標(biāo)準(zhǔn)和傳遞標(biāo)準(zhǔn)。
電容薄膜規(guī)的基本結(jié)構(gòu)如圖11-16所示。它由兩個結(jié)構(gòu)完全相同的圓形固定電極和一個公用的活動電極組成?；顒与姌O薄膜將空間分成互相密封的測量室和參考室，固定電極和活動電極薄膜構(gòu)成差動電容器并作為電橋的兩個橋臂。當(dāng)活動電極處于中間位置時，兩個電容器的電容量相等，一旦活動電極由于壓差作用偏離中間位置時，則一個電容器的電容增加而另一個電容器的電容減小，由于電容變化造成電橋不平衡，因而產(chǎn)生輸出電壓，這個電壓經(jīng)過放大器放大后，由檢波器轉(zhuǎn)換成直流電壓進(jìn)行測量。不同的輸出電壓對應(yīng)于不同的壓力，電容薄膜規(guī)就是利用這樣的原理達(dá)到測量壓力的目的。
電容薄膜規(guī)的壓力測量范圍與膜片的厚度、直徑、材料、膜片的張力等有關(guān)，目前可供選擇的電容薄膜規(guī)包括滿量程13.3Pa、133Pa、1.33kPa、13. 3kPa、133kPa、1.33MPa和3.32MPa、的傳感器，可覆蓋的壓力范圍為10^-3Pa~10^6Pa。
近年來，電容薄膜規(guī)的發(fā)展很快，被廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域。電容薄膜規(guī)分為兩種類型：一種將薄膜的一邊密封為參考真空，成為“絕壓式”電容薄膜規(guī)；另一種是薄膜的兩邊均通人氣體，成為“差壓式”電容薄膜規(guī)。電容薄膜規(guī)具有卓越的線性、較高的測量精度和分辨率。單個傳感器的測量范圍可覆蓋5個數(shù)量級的壓力區(qū)間，短期穩(wěn)定性優(yōu)于0.1%，長期穩(wěn)定性（一年）優(yōu)于0.4%。電容薄膜規(guī)的靈敏度與氣體種類無關(guān)，可測蒸氣和腐蝕性氣體的壓力，結(jié)構(gòu)牢固，使用方便，還可作為粗低真空的副標(biāo)準(zhǔn)和傳遞標(biāo)準(zhǔn)。
電容薄膜規(guī)的基本結(jié)構(gòu)如圖11-16所示。它由兩個結(jié)構(gòu)完全相同的圓形固定電極和一個公用的活動電極組成?；顒与姌O薄膜將空間分成互相密封的測量室和參考室，固定電極和活動電極薄膜構(gòu)成差動電容器并作為電橋的兩個橋臂。當(dāng)活動電極處于中間位置時，兩個電容器的電容量相等，一旦活動電極由于壓差作用偏離中間位置時，則一個電容器的電容增加而另一個電容器的電容減小，由于電容變化造成電橋不平衡，因而產(chǎn)生輸出電壓，這個電壓經(jīng)過放大器放大后，由檢波器轉(zhuǎn)換成直流電壓進(jìn)行測量。不同的輸出電壓對應(yīng)于不同的壓力，電容薄膜規(guī)就是利用這樣的原理達(dá)到測量壓力的目的。
電容薄膜規(guī)的壓力測量范圍與膜片的厚度、直徑、材料、膜片的張力等有關(guān)，目前可供選擇的電容薄膜規(guī)包括滿量程13.3Pa、133Pa、1.33kPa、13. 3kPa、133kPa、1.33MPa和3.32MPa、的傳感器，可覆蓋的壓力范圍為10^-3Pa~10^6Pa。
