真空規(guī)：波紋管規(guī)的概述
此規(guī)的波紋管一端封死，另一端與被測系統(tǒng)相連，當管中壓力變化時，波紋管內(nèi)外的壓力差產(chǎn)生變化，使得波紋管隨之伸縮，規(guī)的靈敏度與波紋管的壁厚和形狀有關。波紋管材料的彈性系數(shù)隨溫度變化而變化是此規(guī)的主要誤差源。
圖11-14是用光學方法檢測波紋管變形的波紋管規(guī)，其測量下限可達10^-2Pa。
圖11-15是一種用玻璃制作的波紋管規(guī)。當波紋管伸縮變化時，毛細管中的水銀位置也隨之變化。此種結構可提高儀器靈敏度，當壓力從較高真空度變到大氣壓時，水銀位移可達600mm。此規(guī)的缺點是對溫度變化太敏感，并要求恒溫。
圖11-14是用光學方法檢測波紋管變形的波紋管規(guī)，其測量下限可達10^-2Pa。
圖11-15是一種用玻璃制作的波紋管規(guī)。當波紋管伸縮變化時，毛細管中的水銀位置也隨之變化。此種結構可提高儀器靈敏度，當壓力從較高真空度變到大氣壓時，水銀位移可達600mm。此規(guī)的缺點是對溫度變化太敏感，并要求恒溫。
