真空度測量與真空規(guī)校準(zhǔn)是真空技術(shù)的重要組成部分。真空度測量指的是在低于大氣壓的條件下，對氣體全壓力的測量。真空計是測量低于1. 01×10-5Pa(一個大氣壓)的全壓力的測量儀器，一般由真空規(guī)和控制線路兩部分組成。
真空規(guī)可分為絕對真空規(guī)和相對真空規(guī)。絕對真空規(guī)是從所測出的物理量就能直接計算出氣體壓力的真空規(guī)。相對真空規(guī)是根據(jù)輸出信號與氣體壓力之間的關(guān)系，通過真空測量標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)后才能確定的真空規(guī)。
真空測量標(biāo)準(zhǔn)可分為絕對真空校準(zhǔn)裝置和相對真空校準(zhǔn)裝置兩大類。絕對真空校準(zhǔn)裝置是從所測出的物理量就能直接計算出壓力來校準(zhǔn)真空規(guī)。相對真空校準(zhǔn)裝置是相對真空規(guī)作為主標(biāo)準(zhǔn)器，必須經(jīng)過絕對真空校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)，然后對真空規(guī)進行校準(zhǔn)。
目前，從大氣壓到 10-10Pa壓力范圍內(nèi)真空度的測量問題已經(jīng)解決了。一般是采用不同類型的真空規(guī)去測量不同壓力區(qū)間的氣體壓力。但是在解決10-11Pa～10-13Pa壓力范圍的極高真空測量方面，進展緩慢。要用已有的真空規(guī)直接測量特殊條件下的真空度是困難的.還要對規(guī)的結(jié)構(gòu)、工藝、理論等多方面的問題進行探討。真空系統(tǒng)中稀薄氣流的非均勻分布問題，以及對非均勻氣流的壓力測量，已成為近年來詳加研究的課題。在從大氣壓到10-10Pa壓力范圍內(nèi)，已有各種類型的絕對真空規(guī)和絕對真空校準(zhǔn)裝置，并從大氣壓到10-7Pa壓力范圍內(nèi)開展了各種雙邊和多邊真空量值的比對工作，取得了較好的一致性。在10-8Pa～10-10Pa壓力范圍內(nèi)沒有進行過任何比對。因此，要達到真空量值的國際統(tǒng)一，還有大量的工作要做。
