真空繼電器是一種自動(dòng)切換開關(guān)，它根據(jù)真空裝置中真空測量點(diǎn)氣體壓力的高低而接通或斷開。從原理上講，除壓縮式真空計(jì)外，其它真空計(jì)、真空表，均可配以適當(dāng)?shù)目刂齐娐?，?gòu)成真空繼電器。特別是微機(jī)化真空計(jì)，更可方便地用軟件設(shè)定壓力控制點(diǎn)。真空繼電器在其壓力控制范圍內(nèi)，可任意設(shè)定壓力控制點(diǎn)。當(dāng)測量壓力值等于設(shè)定的壓力值時(shí)，發(fā)出相應(yīng)的控制信號(hào)，使其內(nèi)部的有觸點(diǎn)或無觸點(diǎn)開關(guān)斷開或閉合，從而實(shí)現(xiàn)壓力自動(dòng)控制。當(dāng)前除個(gè)別專門用作壓力控制的真空繼電器外，大多數(shù)真空計(jì)既可進(jìn)行真空測量，又可實(shí)現(xiàn)壓力的繼電控制，已經(jīng)難于嚴(yán)格區(qū)分真空計(jì)和真空繼電器的界限。
表征真空繼電器性能的主要技術(shù)指標(biāo)是：壓力控制范圍、控制精度、控制點(diǎn)數(shù)、觸點(diǎn)容量、控制響應(yīng)時(shí)間及可靠性等。真空繼電器廣泛應(yīng)用于各種真空裝置的自動(dòng)控制中。它與其它控制元件配合，可實(shí)現(xiàn)真空裝置的程序控制以及控制精度不高的位式壓力控制，并可在真空裝置發(fā)生漏氣等意外事故時(shí)，進(jìn)行報(bào)警或自動(dòng)保護(hù)。
(1)機(jī)電型真空繼電器
機(jī)電型真空繼電器是由機(jī)械型真空規(guī)，配以控制電路組成。靜觸點(diǎn)1是一個(gè)調(diào)節(jié)螺絲，用以調(diào)節(jié)設(shè)定控制壓力值。
膜盒及波紋管同屬于彈性元件，它們縣有相同的功能，均能把壓力變成位移。
當(dāng)規(guī)管內(nèi)壓力達(dá)到設(shè)定的控制壓力值時(shí)，動(dòng)、靜觸點(diǎn)接通，通過控制電路使繼電器K動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)真空裝置的控制和保護(hù)。
(2)電接點(diǎn)真空表
電接點(diǎn)真空表是在彈簧管真空表內(nèi)裝上電接點(diǎn)，配以適當(dāng)?shù)目刂齐娐罚瑯?gòu)成真空繼電器。它除了粗真空測量外，還可以設(shè)定壓力控制點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)壓力控制。
其動(dòng)作原理是：當(dāng)彈簧管內(nèi)壓力達(dá)到設(shè)定的控制壓力值時(shí)，動(dòng)、靜觸點(diǎn)接通，通過控制電路使繼電器K動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)真空裝置的控制和保護(hù)。
(3)帶控制功能的真空計(jì)
帶壓力控制點(diǎn)的真空計(jì)在原真空計(jì)基礎(chǔ)上拓展而 真空測量單元 真空控制單元成。它除了能進(jìn)行真空測量外，還能完成一路到多路的壓力控制。
若原真空計(jì)的控制電路是分立元件構(gòu)成，則在原測量電路上，再增加真空控制電路。通常是增加繼電器控制電路或無觸點(diǎn)開關(guān)控制電路。其真空測量與控制范圍取決于該真空計(jì)所配用的真空規(guī)管。
具有控制功能的真空計(jì)由六個(gè)基本單元組成，其中真空測量單元就是原真空計(jì)控制電路，用來測量被控制壓力。雖然具有控制功能的真空計(jì)種類很多，結(jié)構(gòu)原理也不相同，但是，其真空測量單元均輸出與壓力有關(guān)的電信號(hào)，故被看作是一個(gè)壓力信號(hào)源，它輸出與被控壓力p有關(guān)的電信號(hào)Up。
輸入電路2是將信號(hào)Up進(jìn)行放大或變換，以便與給定電壓Ur進(jìn)行比較較。給走電路3用來設(shè)定被控壓力。比較電路4是將壓力測量值Up與壓力給定值Ur進(jìn)行比較、鑒別。若Up與Ur，相等，則發(fā)出控制信號(hào)U。
若真空控制單元6為繼電器，則驅(qū)動(dòng)電路5為功率放大電路，因?yàn)楸容^電路的負(fù)載能力一般較差，難于提供使繼電器動(dòng)作的足夠驅(qū)動(dòng)功率;若真空控制單元6為無觸點(diǎn)開關(guān)，則驅(qū)動(dòng)電路5為觸發(fā)電路。
這六個(gè)電路單元組成一個(gè)繼電器式的自動(dòng)開關(guān)。其工作過程是：s*先是由給定電路3設(shè)定了一個(gè)與被控壓力相對應(yīng)的給定電壓Ur，當(dāng)真空測量單元測得的被控壓力與給定壓力相等時(shí)，比較電路發(fā)出一個(gè)控制信號(hào)U，通過驅(qū)動(dòng)電路，使繼電器或無觸點(diǎn)開關(guān)動(dòng)作，從而使被控真空裝置的運(yùn)行狀態(tài)改變，實(shí)現(xiàn)真空裝置的自動(dòng)控制和保護(hù)。
若具有控制功能的真空計(jì)控制電路為單片微型計(jì)算機(jī)，則控制壓力由面板上的鍵盤、碼盤或電位器設(shè)定，其控制信號(hào)則由單片微型計(jì)算機(jī)的I/O(輸入偷出)接口引出。目前具有控制功能的真空計(jì)，多數(shù)具有2～4路壓力控制信號(hào)輸出，但也可根據(jù)用戶需要，任意擴(kuò)展壓力控制回路數(shù)。
