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在真空裝置自動控制中，經(jīng)常采用一些通用自動控制元件，有機(jī)械、電氣、氣動、液壓等類型。例如，按鈕、開關(guān)、信號燈、繼電器、接觸器、熔斷器、限位開關(guān)、變壓器、電機(jī)、控制電機(jī)、氣動閥、液壓閥、液壓缸等，還采用一些工業(yè)自動化儀表(如溫度、壓力等測量與控制儀表)、白動控制裝置(如可編程序控制...
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