2、測(cè)量裝置測(cè)量被控制量變化的裝置。例如：真空計(jì)、溫度計(jì)、膜厚測(cè)量?jī)x等。
3、調(diào)節(jié)裝置(調(diào)節(jié)器) 它把測(cè)量裝置所測(cè)量的被控制量與真空工藝所需要保持的給定值相比較，得出偏差值，并按設(shè)計(jì)好的運(yùn)算規(guī)律進(jìn)行運(yùn)算，發(fā)出信號(hào)，使控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)動(dòng)作，以消除被控制量與給定值的偏差。如模擬PID(比例、積分、微分)調(diào)節(jié)器、數(shù)字PID調(diào)節(jié)器(即單片機(jī)、計(jì)算機(jī))等。在真空裝置的真空度控制中，它通常與測(cè)量裝置的真空規(guī)及執(zhí)行機(jī)構(gòu)的真空調(diào)節(jié)閥組合在一起，構(gòu)成壓力控制儀。
4、執(zhí)行機(jī)構(gòu) 它接受調(diào)節(jié)裝置發(fā)出的信號(hào)，產(chǎn)生調(diào)節(jié)作用，以消除被控制量與給定值的偏差。如真空室中調(diào)節(jié)真空度的調(diào)帶閥及調(diào)節(jié)加熱溫度的調(diào)功器均屬此類機(jī)構(gòu)。
5、被控制量系指被控制對(duì)象內(nèi)要求實(shí)現(xiàn)控制的參數(shù)。例如：壓力、溫度、流量、膜厚等。
6、測(cè)量值測(cè)量裝置所測(cè)得的被控制量的實(shí)際值。
7、給定值被控制量要求保持恒定或按預(yù)定規(guī)律變化的規(guī)定值。
8、偏差測(cè)量值與給定值之差。
9、擾動(dòng)干擾它是使被控制量產(chǎn)生變化的因素。擾動(dòng)分兩種：一種為控制系統(tǒng)內(nèi)各個(gè)環(huán)節(jié)產(chǎn)生的擾動(dòng)，稱為內(nèi)擾;另一種為控制系統(tǒng)以外對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生的干擾，稱為外擾。
10、反饋把輸出信號(hào)送回到輸入端，以增強(qiáng)或減弱輸入信號(hào)的效應(yīng)稱為反饋。凡使輸入信號(hào)增強(qiáng)者稱為正反饋;反之，則稱為負(fù)反饋。在自動(dòng)控制系統(tǒng)中多采用負(fù)反饋。
11、調(diào)節(jié)過(guò)程系指控制系統(tǒng)受到加外信號(hào)(給定值或擾動(dòng))作用后，原來(lái)的平衡狀態(tài)遭到破壞，由于自動(dòng)控制裝置的調(diào)節(jié)作用，使被控制量回復(fù)到原來(lái)的平衡狀態(tài)，或過(guò)渡到新的平衡狀態(tài)的過(guò)程。
12、位式調(diào)節(jié) 系指被控制量偏離給定值時(shí)，調(diào)節(jié)器使執(zhí)行機(jī)構(gòu)全開(kāi)或全關(guān)的調(diào)節(jié)。如具有上、下限壓力給定的真空繼電器的壓力調(diào)節(jié)。
13、比例調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器輸出的信號(hào)與偏差大小成比例，使執(zhí)行機(jī)構(gòu)的位置對(duì)應(yīng)于偏差的大小，它能減小偏差，但是不能完全消除偏差。常用P( Proportional)表示。
14、比例積分調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器輸出的信號(hào)不僅與偏差成比例，且與偏差對(duì)時(shí)間的積分成比例，使執(zhí)行機(jī)構(gòu)按偏差的比例、積分規(guī)律進(jìn)行調(diào)節(jié)，是理論上偏差為零的調(diào)節(jié)。常用PI( Propor-tional Intergral)表示。
15、比例積分微分調(diào)節(jié)是將比例、積分、微分三種調(diào)節(jié)規(guī)律結(jié)合起來(lái)的綜合調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)器輸出的信號(hào)不僅與偏差的大小及偏差存在的時(shí)間長(zhǎng)短有關(guān)，還與偏差變化的速度有關(guān)。常用PID( Proportional Intergral Derivative)表示。
16、比例放大倍數(shù)Kp增大Kp，可使靜態(tài)偏差變小，但系統(tǒng)的穩(wěn)定性變差;反之，則可提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性，但是，靜態(tài)偏差變大。通常用調(diào)節(jié)器的比例放大倍數(shù)Kp的倒數(shù)d表示，稱為比例度。
17、積分時(shí)間T表示積分調(diào)節(jié)作用速度和強(qiáng)弱的可調(diào)參數(shù)。在模擬積分調(diào)節(jié)器中，其數(shù)值等于調(diào)節(jié)器積分回路的時(shí)間常數(shù)。
18、微分時(shí)間Td表示調(diào)節(jié)器中微分調(diào)節(jié)作用強(qiáng)弱的可調(diào)參數(shù)。在模擬微分調(diào)節(jié)器中，其數(shù)值等于調(diào)節(jié)器微分回路的時(shí)間常數(shù)。
19、穩(wěn)定性系指控制系統(tǒng)在擾動(dòng)作用下，過(guò)渡過(guò)程能否結(jié)束并達(dá)到平衡狀態(tài)的性能。在擾動(dòng)消除后，系統(tǒng)能恢復(fù)原來(lái)的平衡狀態(tài)的則是穩(wěn)定的。
20、穩(wěn)態(tài)精度 系指系統(tǒng)處于平衡狀態(tài)時(shí)，被控制量與給定值的偏差(即靜態(tài)偏差)。
21、動(dòng)態(tài)精度系指系統(tǒng)在隨時(shí)間變化的給定信號(hào)作用下所具有的精度。在定值系統(tǒng)中，動(dòng)態(tài)精度就是過(guò)渡過(guò)程z*大動(dòng)態(tài)偏差。
22、自動(dòng)控制系統(tǒng) 自動(dòng)控制裝置和被控制對(duì)象組成自動(dòng)控制系統(tǒng)，它能夠使被控制對(duì)象按預(yù)定的規(guī)律動(dòng)作，自動(dòng)完成真空工藝過(guò)程。如鍍膜機(jī)微機(jī)控制系統(tǒng)等。
