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極高真空裝置真空室壓力的測量
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2014-09-09  閱讀

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  選用了兩種真空規來測量極高真空室的壓力。一種是調制BA規,型號為IMR-103,規管常數為0.188Pa-l,配有巴爾蔡司公司生產的全自動數字顯示超高真空電離計。另一種是蘭州物理研究所研制的陶瓷裸式彎注規,規管常數為0.105Pa-1。離子流測量采用TR-84M振簧式靜電計。...