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極高真空裝置真空系統的結構及特點
標簽: 極高真空
2014-09-09  閱讀

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       用液氮冷凍鈦升華阱的方法可獲得10^-lIPa的壓力,這種極高真空裝置的系統芻構示意圖,如圖16-57所示。該系統由主薯液器、極高真空室、加熱裝置、冷凍裝置...