極高真空裝置真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及特點
用液氮冷凍鈦升華阱的方法可獲得10^-lIPa的壓力，這種極高真空裝置的系統(tǒng)芻構(gòu)示意圖，如圖16-57所示。該系統(tǒng)由主薯液器、極高真空室、加熱裝置、冷凍裝置及抽氣設(shè)備等組成。主容器包括內(nèi)殼和外殼兩部分，均由不銹鋼制成。外殼尺寸為+900mm×1600mm，內(nèi)殼尺寸為+600mm×1000mm。
內(nèi)外殼之間的空間稱為“夾層”，內(nèi)裝管狀加熱器和液氮冷卻的紫銅盤管。極高真空室由不銹鋼制成，尺寸為+400mm×500mm，其結(jié)構(gòu)為雙壁式的，用以貯存液氮。在極高真空室的內(nèi)部和外部，各裝有一個鈦鉬合金絲做的鈦升華阱和泵。出口處裝有一個百葉窗式的擋板。測量用裸調(diào)制BA規(guī)和裸彎注規(guī)。
加熱裝置包括管狀加熱器和空氣加熱器兩部貧。前者用來加熱外殼、內(nèi)殼和極高真空室；后者用來烘烤主擴散泵上面的液氮冷阱。冷凍裝置由氟里昂制冷系統(tǒng)和開式液氮供給系統(tǒng)組成。用以冷凍主擴散泵上面的擋板及端法蘭的橡膠密封圈和供給冷阱、內(nèi)殼和極高真空室液氮。
抽氣設(shè)備由三個相互獨立的分系統(tǒng)組成，即“夾層”抽氣系統(tǒng)、“隧道”抽氣系統(tǒng)和“主”抽氣系統(tǒng)。“夾層”抽氣系統(tǒng)是真空保護系統(tǒng)，工作壓力為10^-3Pa～10_5Pa，其作用是減小漏氣和漏熱。“隧道”系統(tǒng)是測量引線的保護真空通道，該系統(tǒng)內(nèi)的壓力為10^-4Pa—l0^-5Pa。主抽氣系統(tǒng)同主容器和極高真空室相連，由機械泵、KY-11和KY-13兩級擴散泵、人字形氟里昂擋板、液氮冷阱、兩級百葉窗擋板、冷凍鈦升華阱及鈦升華泵等構(gòu)成。
