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用分子沉技術(shù)獲得10^-1lPa極高真空:實驗結(jié)果
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2014-09-07  閱讀

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實驗共進行了12次,均穩(wěn)定地獲得了10 -llPa的壓力。其中三次實驗結(jié)果見表16-17。運轉(zhuǎn)過程中壓力的變化由圖16-58曲線給出。實驗測得冷凍鈦升華阱的效率分別為812(對氫氣)和5000(對氮氣)。分子沉效率為0.63。

用分子沉技術(shù)獲得10^-1lPa極高真空:實驗結(jié)果

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