極高真空設(shè)備中的冷漏現(xiàn)象及其消除方法：實驗內(nèi)容與方法
液氦低溫泵在使用過程中的溫變特性十分突出，盡管在泵的制作和初調(diào)過程中曾反復(fù)進行過冷熱沖擊實驗，但由于種種原因（例如多次溫變、振動、承載等），往往還會在焊縫或密封連接處出現(xiàn)“冷漏”現(xiàn)象。因此，在低溫泵正式注入液氦前還必須反復(fù)對該泵進行冷熱沖擊考驗。本手冊由真空技術(shù)網(wǎng)提供，僅供行業(yè)技術(shù)交流使用，請勿用于商業(yè)用途。
(1)重復(fù)性冷熱沖擊試驗
?、俸婵厩皩ο到y(tǒng)進行殘氣質(zhì)譜分析和氦質(zhì)譜檢漏；
?、谙到y(tǒng)烘烤升溫(約300℃，100h)；
③系統(tǒng)自然冷卻（到室溫）；
④系統(tǒng)強迫冷卻：在液氮膽內(nèi)注入液氮，在液氦膽內(nèi)注入液氮；
?、萦^察系統(tǒng)真空度變化及殘氣成分變化（質(zhì)譜圖）。
(2)漏孔位置的確定及消除孔的方法
通過殘氣質(zhì)譜分析，當(dāng)確知系統(tǒng)因反復(fù)冷熱沖擊而產(chǎn)生“冷漏”時，應(yīng)s*先確定漏孔的位置，然后，再設(shè)法消除漏孔。
①用四極質(zhì)譜計檢漏法確定漏孔位置；
②用超高真空補漏膠噴涂堵漏法消除金屬焊縫處的漏孔；
③用法蘭壓緊法消除可拆密封連接處的漏孔；
④用液氮浸泡法檢驗噴涂堵漏法的密封效果；
?、萦煤べ|(zhì)譜檢漏法檢驗法蘭壓緊法的密封效果。
(3)穩(wěn)定性冷熱沖擊竇驗
①長時間連續(xù)烘烤保溫(約200℃，110h)；
?、谙到y(tǒng)自然冷卻后逐一對每個焊縫和密封法蘭進行檢漏；
?、巯到y(tǒng)強迫冷卻，在液氮膽內(nèi)注入液氮，在液氦膽內(nèi)注入液氮；
④對系統(tǒng)進行殘氣分析和氦質(zhì)譜檢漏。
(1)重復(fù)性冷熱沖擊試驗
?、俸婵厩皩ο到y(tǒng)進行殘氣質(zhì)譜分析和氦質(zhì)譜檢漏；
?、谙到y(tǒng)烘烤升溫(約300℃，100h)；
③系統(tǒng)自然冷卻（到室溫）；
④系統(tǒng)強迫冷卻：在液氮膽內(nèi)注入液氮，在液氦膽內(nèi)注入液氮；
?、萦^察系統(tǒng)真空度變化及殘氣成分變化（質(zhì)譜圖）。
(2)漏孔位置的確定及消除孔的方法
通過殘氣質(zhì)譜分析，當(dāng)確知系統(tǒng)因反復(fù)冷熱沖擊而產(chǎn)生“冷漏”時，應(yīng)s*先確定漏孔的位置，然后，再設(shè)法消除漏孔。
①用四極質(zhì)譜計檢漏法確定漏孔位置；
②用超高真空補漏膠噴涂堵漏法消除金屬焊縫處的漏孔；
③用法蘭壓緊法消除可拆密封連接處的漏孔；
④用液氮浸泡法檢驗噴涂堵漏法的密封效果；
?、萦煤べ|(zhì)譜檢漏法檢驗法蘭壓緊法的密封效果。
(3)穩(wěn)定性冷熱沖擊竇驗
①長時間連續(xù)烘烤保溫(約200℃，110h)；
?、谙到y(tǒng)自然冷卻后逐一對每個焊縫和密封法蘭進行檢漏；
?、巯到y(tǒng)強迫冷卻，在液氮膽內(nèi)注入液氮，在液氦膽內(nèi)注入液氮；
④對系統(tǒng)進行殘氣分析和氦質(zhì)譜檢漏。
