在常溫下鈦對N2、H2的吸附一般是化學(xué)吸附。但在液氮溫度下鈦膜對不同氣體的吸附過程和吸附性質(zhì)尚在探討。目前較多的看法是包括三個過程的吸附：s*先是氣體分子被物理吸附于表面；然后很快轉(zhuǎn)化為分子態(tài)的化學(xué)吸附，并在表面形成一個可游動的吸附致密層；z*后，擴散進入膜中轉(zhuǎn)為原子態(tài)的穩(wěn)定化學(xué)吸附。按這樣的吸附過程，起始粘著系數(shù)實際是物理吸附概率。據(jù)Feukel理論，在物理吸附階段，吸附于表面的分子數(shù)與碰撞...
