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粘著系數的測定，是在鈦蒸發期間或蒸發后引入恒定氣流Q（為減小本底的影響，要求Q的引入使本底壓力升高1—1.5數量級），同時測定吸氣膜附近的壓強p，計算膜面的比抽速S與該條件下的理想比抽速So之比，即為粘著系數a，a=S /So
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