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　　吸氣劑對(duì)各種氣體的粘著系數(shù)和吸附容量是評(píng)定吸氣劑性能的主要參數(shù)。粘著系數(shù)表明單位吸氣面積上所能產(chǎn)生的抽速。吸附容量表明在給定分壓下吸氣膜所具有的有效抽氣時(shí)間。因此這兩個(gè)參數(shù)對(duì)確定系統(tǒng)中某一時(shí)間內(nèi)各氣體的分壓起重要作用。
　　
　　粘著系數(shù)是指和吸氣表面相碰撞的氣體分子（或原子）被吸附的概率。吸附容量反映鈦單位質(zhì)量能吸附的氣體量。它們是氣體種類(lèi)、壓力、膜溫等多變量的函數(shù)。從國(guó)外所測(cè)結(jié)果來(lái)看，即使材料、氣體、膜面濕度相同，其所測(cè)值變化仍很大。這說(shuō)明，測(cè)量結(jié)果還和膜沉積條件、基底性質(zhì)、表面狀況等有很大關(guān)系。Harra在評(píng)述以前工作結(jié)果的基礎(chǔ)上給出了他認(rèn)為合理的粘著系數(shù)與吸附能力的數(shù)據(jù)。Hagward等人也曾對(duì)金屬膜測(cè)定吸附概率的設(shè)備作了嚴(yán)密評(píng)定。但是這些條件在一般工程上難于實(shí)現(xiàn)。盡可能減小測(cè)量誤差又接近于工程應(yīng)用情況而建立的粘著系數(shù)測(cè)量設(shè)備，也可同時(shí)測(cè)吸附容量和出氣成分。