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所謂液氦冷凝泵,是指一種靠低溫介質(液氦)將固體表面冷卻到極低溫度(≤4K),使沸點高于這一溫度的碰撞氣體被冷凝在該低溫表面上,從而產生很大抽氣作用的泵。其抽氣機制是物理吸附過程...
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