真空浸泡后油峰有所增加的事實表明，從油蒸氣對容器所造成的污染來說，除泵正常運轉(zhuǎn)中的返流外，在系統(tǒng)沒有隔離閥的情況下，主要是系統(tǒng)在真空浸泡期間發(fā)生的。因為這時泵已停止工作，失去了抽氣作用，而系統(tǒng)仍處于真空，原先吸附障板冷面上的大量返流物會因升溫而解吸，幾乎是毫無阻礙地返進容器重又吸附于器壁上。這樣，在下一次運轉(zhuǎn)中，由于污染物的解吸很緩慢，使系統(tǒng)的清潔程度變壞，也大大延長了抽氣時間。此外，真空靜置期間，泵液也可能通過蒸發(fā)、爬移等途徑對容器壁造成污染?？朔@一問題的方法除在系統(tǒng)中設置隔離閥外，簡便可行的方法是采用充氮保護。
通過實驗研究，得到如下幾點結(jié)論：
?、儆蓹C械泵和擴散泵組成的抽氣系統(tǒng)中，若不采取阱、障板等降低泵液返流措施，擴散泵和機械泵工作液的返流是限制系統(tǒng)極限壓力的主要因素之一。
?、诜锇簡螌尤俗中握习搴驮O計良好的液氮冷阱能有效地降低泵液返流，其捕獲效率分別大于0.9和0.99
?、酆婵臼侨コ砻嫖廴竞徒档捅砻娣艢獾挠行Х椒?。250℃，8h烘烤，結(jié)合障板和阱的效果，能獲得好于3.06×10-8Pa酌真空，剩余氣體中泵液污染物檢測不到。估計泵液返流率<7×10 -12g/min．cm/。剩余氣體主要組分是H2（約占78.3%），其次是C、CO和N2。C主要來自鎢燈絲。
?、鼙靡簩θ萜鞯奈廴境谜＿\轉(zhuǎn)外，主要是系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)期間原來冷凝于阱中的大量冷凝物的解吸，以及真空靜置期間油的蒸發(fā)爬移。在容器與阱間設有隔離閥的情況下，采用充氮保護運轉(zhuǎn)方法能有效地降低上述污染過程。
?、菡婵战菔墙档捅砻娣艢獾暮啽惴椒?，既縮短了抽氣時間，又提高了極限真空度。
值得提出的是：用油擴散泵抽氣系統(tǒng)完全能夠獲得既清潔、油污染又小的真空環(huán)境。它有賴于合理的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和正確的運轉(zhuǎn)程序兩個方面。
